[發(fā)明專利]一種熱機(jī)軌道透明式蓋板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210467461.0
• 申請(qǐng)日: 2012-11-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102938388A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳濤;杜紹明;王修儒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連佳峰電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 大連星海專利事務(wù)所 21208
• 代理人: 花向陽(yáng)

技術(shù)領(lǐng)域

一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，屬于集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域，特別是涉及粘晶工序中軌道密封蓋板的結(jié)構(gòu)。?

技術(shù)背景

在半導(dǎo)體封裝工業(yè)粘晶工序中，熱機(jī)設(shè)備軌道部需要完成針對(duì)引線的加熱、點(diǎn)錫、粘晶、降溫等相關(guān)工藝。軌道部由U形槽，軌道板，軌道蓋板，加熱結(jié)構(gòu)，冷卻結(jié)構(gòu)及支撐端組成。?

粘晶區(qū)域的工作溫度較高，一般在400℃左右。引線進(jìn)入加熱區(qū)域后，本身的溫度逐漸上升，并保持在錫絲熔點(diǎn)溫度形成恒溫。粘晶工藝結(jié)束后，引線沿工作臺(tái)軌道被搬移出加熱區(qū)，并在冷卻結(jié)構(gòu)的作用下，溫度逐漸降低至常溫。為保證引線在加熱過(guò)程中不被氧化，軌道部一般采用全封閉式結(jié)構(gòu)。以往的軌道蓋板結(jié)構(gòu)，引線一旦進(jìn)入工作臺(tái)后，其運(yùn)行過(guò)程將完全處于封閉結(jié)構(gòu)內(nèi)，無(wú)法瞬時(shí)觀察其運(yùn)行狀態(tài)及變化。若出現(xiàn)引線堵塞、點(diǎn)錫或粘晶等工藝問(wèn)題時(shí)，操作人員無(wú)法及時(shí)發(fā)現(xiàn)，從而造成原材料浪費(fèi)及對(duì)設(shè)備的損壞。?

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)背景中存在的問(wèn)題，提供一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，使軌道蓋板上的一定區(qū)域可以觀察到引線的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)。?

本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種熱機(jī)軌道透明式蓋板,?包括帶側(cè)板的以軌道為底面的U型槽,?所述U型槽上設(shè)有出料蓋板、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板和進(jìn)料蓋板，所述蓋板上設(shè)有透明窗口，所述蓋板一端卡在軌道一側(cè)側(cè)板的U型槽上，另一側(cè)用螺絲固定在軌道另一側(cè)的側(cè)板上，蓋板上設(shè)有透明窗口。?

所述蓋板包括底座、耐熱玻璃、密封罩和滑動(dòng)片，在底座的凹槽中嵌入優(yōu)質(zhì)的耐熱玻璃，用固定螺絲將依次疊加在一起的密封罩、耐熱玻璃和底座密封固定在軌道的側(cè)板上。?

所述密封罩上設(shè)有滑動(dòng)片。滑動(dòng)片為搬運(yùn)位置密封擋片，功能與密封罩類似。?

本發(fā)明的有益效果是：這種熱機(jī)軌道透明式蓋板包括出料蓋板、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板和進(jìn)料蓋板，蓋板上設(shè)有透明窗口，并固定在軌道的側(cè)板上。采用加置耐熱性較好的透明玻璃后，軌道蓋板上的一定區(qū)域可以觀察到引線的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)，保證了結(jié)構(gòu)的整體性和密封效果的同時(shí)，可以有效的避免出現(xiàn)引線堵塞、點(diǎn)錫或粘晶等工藝問(wèn)題時(shí)，從而節(jié)省原材料，及時(shí)避免設(shè)備的損壞，提高設(shè)備的生產(chǎn)效率，并延長(zhǎng)其使用壽命。?

附圖說(shuō)明

圖1是軌道部整體結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2是進(jìn)料軌道蓋板外部示意圖。?

圖3是進(jìn)料軌道蓋板裝配示意圖。?

圖中：1、左支撐，2、?U形槽，3、右支撐，4、出料蓋板，5、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板，6.、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板，7、進(jìn)料蓋板，8、進(jìn)料口，9、出料口，?10、固定螺絲，11、底座，12、耐熱玻璃，13、密封罩，14、滑動(dòng)片。?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)的說(shuō)明。?

圖1、2、3示出了進(jìn)料軌道蓋板結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，在軌道的兩側(cè)固定有側(cè)板，形成了以軌道為底面的U型結(jié)構(gòu)；分別在軌道的出料、冷卻、粘晶、進(jìn)料處覆蓋上一層透明密封的蓋板，即出料蓋板4、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板5、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板6和進(jìn)料蓋板7，這些密封蓋板一端卡在軌道一側(cè)側(cè)板的U型槽上，另一側(cè)用螺絲固定在軌道另一側(cè)的側(cè)板上；密封蓋板由底座11、耐熱玻璃12、密封罩13和滑動(dòng)片14組成；在底座11的凹槽中嵌入優(yōu)質(zhì)的耐熱玻璃12，用固定螺絲10將密封罩13、耐熱玻璃12和底座11相疊加密封固定粘合起來(lái)；在密封罩13上開(kāi)有滑動(dòng)片14，滑動(dòng)片14為搬運(yùn)位置密封擋片，功能與密封罩類似。?

所有軌道蓋板與U形槽及軌道板連接處，均采用卡槽結(jié)構(gòu)。接觸面表面粗糙度均為0.8;?零件加工時(shí)嚴(yán)格限制其公差要求及誤差范圍。按照嚴(yán)格的裝配工藝，保證結(jié)構(gòu)的整體性能與密封性能。?

??