[發(fā)明專利]一種靶材使用檢測系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210465472.5
• 申請(qǐng)日: 2012-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN102994970A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李勝斌;尹明格;付艷強(qiáng);劉勃;張立星;車奉周;劉占偉;金相起
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;C23C14/34
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 李娟

1.一種靶材使用檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

靶材，所述靶材的背板上設(shè)置有至少一個(gè)具有凹槽的凸臺(tái)和與所述凹槽連通的導(dǎo)氣通道，所述凸臺(tái)被所述靶材的靶胚和連接部密封；

與所述導(dǎo)氣通道連通的流量計(jì)，用于監(jiān)測所述導(dǎo)氣通道和凹槽中的氣體是否流動(dòng)；

以及與所述流量計(jì)信號(hào)連接的濺射設(shè)備的自鎖裝置，用于獲取所述流量計(jì)的狀態(tài)，并當(dāng)所述流量計(jì)顯示流量時(shí)啟動(dòng)，使濺射設(shè)備停止工作。

2.如權(quán)利要求1所述的靶材使用檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述凸臺(tái)為長方體塊，且所述長方體塊的長度方向與所述背板的長度方向垂直。

3.如權(quán)利要求2所述的靶材使用檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述凸臺(tái)相對(duì)于所述背板的高度為0.5~1mm。

4.如權(quán)利要求3所述的靶材使用檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述凸臺(tái)與所述背板為一體化結(jié)構(gòu)。

5.如權(quán)利要求1所述的靶材使用檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述背板內(nèi)部還設(shè)置有冷卻水管路。

6.如權(quán)利要求1所述的靶材使用檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述靶材的連接部的材質(zhì)為銦或銦錫合金。

7.一種靶材使用檢測方法，其特征在于，包括：

流量計(jì)監(jiān)測充入靶材的導(dǎo)氣通道和凸臺(tái)凹槽中的工藝氣體是否流動(dòng)；

自鎖裝置獲取所述流量計(jì)的狀態(tài)，并當(dāng)所述流量計(jì)顯示流量時(shí)啟動(dòng)，使濺射設(shè)備停止工作。

8.如權(quán)利要求7所述的靶材使用檢測方法，其特征在于，當(dāng)所述靶材的靶胚被擊穿時(shí)，填充在所述靶材的導(dǎo)氣通道和凸臺(tái)凹槽中的工藝氣體從所述凸臺(tái)凹槽口泄露，所述流量計(jì)顯示流量。