[發明專利]一種空間三維高精度機械式微力傳感器

有效

• 申請號: 201210465456.6
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN102998038A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 朱大昌;馮文結;崔祥府
• 申請（專利權）人: 江西理工大學
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種空間三維高精度機械式微力傳感器，其特征在于：空間三維高精度機械式微力傳感器包括一個與待測力接觸感應動平臺(4)安裝在柔性力傳遞支路(2)上，柔性力傳遞支路(2)通過卡槽(11)安裝在基體(1)上，柔性力傳遞支路(2)通過集成的柔性鉸鏈將待測力傳遞到硅基應變片(3)上，，硅基應變片(3)將彈性變形量轉換成電壓信號，輸出到多維力融合處理器中，根據三個柔性力傳遞支路，通過融合算法計算出待測力的大小和方向。

2.根據權利要求1所述一種空間三維高精度機械式微力傳感器，其特征在于：利用全柔順并聯機構的全柔順支鏈作為待測力的傳感與檢測路徑，實現空間三維微力分解。

3.根據權利要求2所述一種空間三維高精度機械式微力傳感器，其特征在于：空間三維高精度機械式微力傳感器采用硅基應變片彈性變形感應空間三維待測外力大小及方向，實現空間三維任意矢量方向力在線高精度傳感與檢測。

4.根據權利要求3所述一種空間三維高精度機械式微力傳感器，其特征在于：空間三維微力傳感器的多維力融合處理器，將空間三條柔性力傳遞支路的信息進行融合處理，通過融合算推導出空間待測力三維矢量方向。