[發(fā)明專利]靜電驅(qū)動壓阻檢測硅微陀螺儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210463520.7
• 申請日: 2012-11-17
• 公開（公告）號: CN103822622A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孟繁錕
• 申請（專利權(quán)）人: 上海市閔行區(qū)知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)協(xié)會
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：該微陀螺采用靜電驅(qū)動，壓阻檢測。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：該微陀螺的采用體硅微加工工藝和表面硅微加工工藝制作。

3.一種靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：它包括兩個帶錘頭的驅(qū)動梁（1），兩個與驅(qū)動梁垂直的檢測梁（2），兩組叉指驅(qū)動電極，兩個檢測電極（5），一個固定錨點(diǎn)（6）及一個陀螺的基座。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：所述驅(qū)動梁（1）共有兩個，截面為長方形，每個驅(qū)動梁（1）的兩端分別有兩個錘頭形質(zhì)量塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：所述檢測梁（2）共有兩個，截面為長方形結(jié)構(gòu)，每個檢測梁（2）的一端與驅(qū)動梁長度方向上的中點(diǎn)處相連，另一端與固定錨點(diǎn)（6）相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：所述叉指驅(qū)動電極共有兩組，分別位于兩驅(qū)動梁（1）的兩側(cè)，每組叉指包括一個固定叉指（4）和兩個活動叉指（3）。

7.固定叉指（4）一端固定在陀螺的框架上，另一端懸空；活動叉指（3）一段固定在驅(qū)動梁上，另一端懸空。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：所述檢測電極共有兩個，分別位于兩個檢測梁（2）的上表面，由壓阻材料構(gòu)成，通過電極引線聯(lián)接至錨點(diǎn)上的接線電極板。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：所述固定錨點(diǎn)（6）共有一個，為正方體結(jié)構(gòu)，下端同陀螺基座（7）相連，兩端聯(lián)接檢測梁（2），通過檢測梁（2）支撐驅(qū)動梁（1）及活動叉指（3）；固定錨點(diǎn)（6）上分布有檢測電極接線電極板。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：所述陀螺基座（7）共有一個，形狀為空心長方體，為整個陀螺的支撐部件，陀螺的振子通過固定錨點(diǎn)（6）固定于基座之上，固定叉指（4）通過基座的框架固定在基座上。

11.根據(jù)權(quán)利要求3至9任一項所述的靜電驅(qū)動壓阻檢測的硅微陀螺儀，其特征在于：上述部件的連接以及位置關(guān)系為：所述正方體形固定錨點(diǎn)（6）位于空心長方體陀螺基座（7）的中心；錨點(diǎn)左右兩邊的中心處連接陀螺的兩個長方體形桿狀懸臂檢測梁（2）；檢測梁（2）的另一端連接帶有錘頭形質(zhì)量塊的檢測梁（2）；兩組活動叉指（3）驅(qū)動電極一端同驅(qū)動梁（1）連接，另一端懸空，位置分布關(guān)于兩檢測梁（2）對稱；兩組固定叉指（4）同活動叉指（3）配合，一端固定在基座（7）邊框上，一端同活動叉指（3）交叉配合并懸空；檢測電極位于檢測梁（2）的上表面，位置偏向于檢測梁（2）固定端。