[發明專利]EB爐熔煉過程中EB槍氣體流量控制的方法無效
| 申請號： | 201210462938.6 | 申請日： | 2012-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN103021780A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 蘇鶴洲;李志敏;卞輝;楊興燦;楊超 | 申請（專利權）人： | 云南鈦業股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 昆明大百科專利事務所 53106 | 代理人： | 何健;張代民 |
| 地址： | 651209 云*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | eb 熔煉 過程 氣體 流量 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
1.EB爐熔煉過程中EB槍氣體流量控制的方法，其特征在于，步驟為，
1）、將電子槍的中間腔抽真空，直到中間腔真空計讀數在5×10-4hPa以下；觀察電子槍流量控制器讀數，直到流量控制壓力值顯示在10-6mbar以下且穩定；
2）、啟動電子槍，并發射電子束，觀察電子束的形態：由上至下逐漸變粗，整體適中；顏色為亮藍色；
3）、當上訴條件都達到并啟動電子束時后，打開氣體流量控制器開關，將流量控制數值從起始數值5×10-6mbar?L/S逐漸調整到5×10-2mbar?L/S；觀察電子束輪廓形態，如輪廓不明顯，形態整體偏大，電子束顏色逐漸呈現紅色，則說明電子束沒有調整到最佳狀況，流量控制沒有達到最佳效果；
4）、進一步調整氣體流量控制器數值，從5×10-2mbar?L/S逐漸調整到6×10-1mbar?L/S；
在此過程中任一階段，如果電子束輪廓明顯、形態適中，并呈現出亮藍色，則說明電子束調整到最佳狀況，流量控制達到預想效果，即停止調整氣體流量；
5）、在電子束發射運行過程中，隨著使用時間的增加、環境溫度的變化，氣體流量需要隨時調整，但通常會穩定在一個壓力段上，即5×10-2mbar?L/S—6×10-1mbar?L/S之間；調整的標準是電子束輪廓明顯，形態適中，呈現亮藍色并不會發出刺眼的光束。
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