[發(fā)明專利]DBC基板翹曲激光測量裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210462337.5
• 申請日: 2012-11-16
• 公開（公告）號: CN102967273A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設計）人: 吳燕青;賀賢漢;戴洪興;魯瑞平
• 申請（專利權(quán)）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 上海元一成知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31268
• 代理人: 趙青

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導體制造、LED、光通訊領(lǐng)域，特別適用半導體制冷器、LED、功率半導體等用DBC基板時翹曲的測量，特別是一種DBC基板翹曲激光測量裝置。

背景技術(shù)

由于銅與瓷不同的熱膨脹系數(shù)，在陶瓷直接覆銅(DBC)后，DBC基板會產(chǎn)生翹曲；同時DBC基板在后道器件焊接時，由于加熱也產(chǎn)生翹曲。這些翹曲都必須測量以保證生產(chǎn)進行。現(xiàn)有DBC基板翹曲測量有用塞尺測量和用三坐標測量儀測量兩種方法：

一種是用塞尺手工進行測量，測量時用塞尺塞入DBC基板底部，測量誤差大，同時無法在DBC基板加熱情況下測量；另外一種是用三坐標測量儀測量，測量繁瑣，由于與被測物直接接觸，對翹曲測量有一定影響，同時無法在DBC基板加熱情況下測量，只能在常溫下測量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種在常溫和加熱情況下都可以測量的DBC基板翹曲激光測量裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明DBC基板翹曲激光測量裝置，包括：下底板；測量平臺，所述測量平臺設置在所述下底板上；上底板，所述上底板設置在所述下底板上，所述上底板通過所述上底板兩側(cè)的支撐桿設置在所述下底板上；滑動機構(gòu)，所述滑動機構(gòu)設置在所述上底板上；測量機構(gòu)，所述測量機構(gòu)通過支架與所述滑動機構(gòu)連接，所述測量機構(gòu)設置在所述測量平臺的上方；以及散熱片，所述散熱片設置在所述支架上，所述散熱片設置在所述測量機構(gòu)與待測樣品之間。

所述滑動機構(gòu)包括：導軌，所述導軌設置在所述上底板上，在所述導軌上還設有齒條；滑塊，所述滑塊設置在所述導軌上，在所述滑塊內(nèi)還設有齒輪，所述齒輪與所述齒條相匹配；以及調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓一端與所述齒輪連接，另外一端設置在所述滑塊外。

所述支架包括：橫支架，所述橫支架的一端與所述滑動塊連接；以及豎支架，所述豎支架的一端與所述橫支架的另外一端連接。在所述豎支架與所述橫支架之間還進一步設有加強筋，所述加強筋分別與所述豎支架及所述橫支架連接。

所述測量機構(gòu)包括：保護盒，所述保護盒設置在所述豎支架上，在所述保護盒的一側(cè)設有探測孔，所述探測孔面向所述測量平臺；以及激光發(fā)射接收器，所述激光發(fā)射接收器設置在所述保護盒內(nèi)，所述激光發(fā)射接收器與數(shù)據(jù)控制處理裝置電連接。

在所述散熱片上分別設有測量孔及散熱孔，所述測量孔與所述探測孔的位置相對應。所述散熱片的數(shù)量至少為一個，多個所述散熱片相互間隔設置，其中上、下所述散熱孔的位置不對應，形成錯位設置。

本發(fā)明DBC基板翹曲激光測量裝置通過激光發(fā)射和接受，實現(xiàn)非接觸式DBC基板翹曲的測量，提高測量精度；在測量機構(gòu)與待測樣品之間裝置裝有散熱片，減少DBC基板加熱時生產(chǎn)的熱量對激光發(fā)射接收器的影響，實現(xiàn)DBC基板在加熱情況下翹曲的測量，同時激光發(fā)射接收器通過支架裝在導軌上，通過轉(zhuǎn)動螺栓帶動齒輪，使滑塊在導軌上移動，導軌與測量平臺相互平行，實現(xiàn)激光與被測物之間的翹曲的測量。

附圖說明

圖1為本發(fā)明DBC基板翹曲激光測量裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

本發(fā)明DBC基板翹曲激光測量裝置附圖中附圖標記說明：

1-下底板???????????????????????2-測量平臺?????????????????????????3-待測樣品

4-上底板???????????????????????5-支撐桿???????????????????????????6-導軌

7-滑塊?????????????????????????8-齒輪?????????????????????????????9-調(diào)節(jié)螺栓

10-橫支架??????????????????????11-豎支架??????????????????????????12-加強筋

13-保護盒??????????????????????14-探測孔??????????????????????????15-激光發(fā)射接收器

16-數(shù)據(jù)控制處理裝置????????????17-第一散熱片??????????????????????18-第二散熱片

19-第三散熱片??????????????????20-第四散熱片??????????????????????21-測量孔

22-散熱孔??????????????????????23-數(shù)據(jù)線

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明DBC基板翹曲激光測量裝置作進一步詳細說明。