[發(fā)明專利]一種氧化銦錫薄膜的處理工藝無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210461967.0 | 申請(qǐng)日： | 2012-11-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN103801532A | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張恒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 張恒 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/08 | 分類號(hào)： | B08B3/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264003 山東省*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氧化 薄膜 處理 工藝 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種氧化銦錫薄膜的處理工藝，其特征在于，所述工藝方法如下：
（1）將氧化銦錫薄膜放入盛有異丙醇的燒杯中浸泡15分鐘；
（2）浸泡完后，放入超聲機(jī)中超聲5分鐘；
（3）取出氧化銦錫薄膜，將其放入20%濃度的磷酸溶液中浸泡15分鐘；
（4）取出氧化銦錫薄膜，用去離子水沖洗。
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