[發明專利]一種負性光刻膠顯影液及其應用

無效

• 申請號: 201210461049.8
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN102929109A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 譚智敏;徐雅玲;黃源;嚴兵華
• 申請（專利權）人: 杭州格林達化學有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32;G03F7/30
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 周烽

1.一種負性光刻膠顯影液，其特征在于，它是由有機堿和陰離子表面活性劑組成的水溶液；其中，有機堿的質量濃度為0.01~60%，陰離子表面活性劑質量濃度為0.01~30%；有機堿由TMAH（四甲基氫氧化銨）、TEAH（四乙基氫氧化銨）和TMAC（四甲基銨碳酸（氫）鹽）的一種或是任意兩種混合而成；陰離子表面活性劑由醇醚羧酸鹽、醇醚磺酸鹽、酚醚硫酸酯鹽和醇醚磷酸鹽的一種或幾種組成。

2.根據權利要求1所述負性光刻膠顯影液，其特征在于，所述有機堿的質量濃度優選為0.03~15%；陰離子表面活性劑質量濃度優選為0.02~15?%。

3.一種權利要求1所述負性光刻膠顯影液的應用，其特征在于，該應用具體為：顯影溫度在20℃~25℃之間，顯影時間為15s~60s之間；其適用的光刻膠為化學增幅型負性光刻膠，特別是光刻膠中樹脂主要成分為丙烯酸類的光刻膠；其適用的光刻膠膜厚為0.5μm~3μm，相應的顯影前烘溫度為80℃~140℃。