[發(fā)明專利]銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應(yīng)用

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210459932.3
• 申請(qǐng)日: 2012-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103805179A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周明杰;王平;陳吉星;黃輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號(hào): C09K11/64
• 分類號(hào): C09K11/64;H01L33/26
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜及其制備方法、以及薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。

【背景技術(shù)】

薄膜電致發(fā)光顯示器(TFELD)由于其主動(dòng)發(fā)光、全固體化、耐沖擊、反應(yīng)快、視角大、適用溫度寬、工序簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，已引起了廣泛的關(guān)注，且發(fā)展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，開(kāi)發(fā)多波段發(fā)光的薄膜，是該課題的發(fā)展方向。但是，可應(yīng)用于薄膜電致發(fā)光顯示器的銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，仍未見(jiàn)報(bào)道。

【發(fā)明內(nèi)容】

基于此，有必要提供一種可應(yīng)用于薄膜電致發(fā)光器件的銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜及其制備方法、以及薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。

一種銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，其化學(xué)式為MeAl₂S₄:xCu²⁺，yIr³⁺，其中，0.01≤x≤0.05，0.01≤y≤0.08，MeAl₂S₄是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Zn、Mg、Ca、Sr或Ba。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為60nm～400nm。

一種銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，包括以下步驟：

根據(jù)MeAl₂S₄:xCu²⁺，yIr³⁺各元素的化學(xué)計(jì)量比將MeS，Al₂S₃，CuS和Ir₂S₃粉體，經(jīng)過(guò)混合后，在900℃～1300℃下燒結(jié)得到靶材，所述MeS為硫化鋅、硫化鎂、硫化鈣、硫化鍶或硫化鋇；

將襯底裝入化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)室中，并將反應(yīng)室的真空度設(shè)置為1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；

調(diào)節(jié)基靶間距為45mm～95mm，襯底的溫度為250℃～750℃，工作氣體的流量為10sccm～40sccm，工作壓強(qiáng)為0.5Pa～5Pa，脈沖激光能量為80W～300W，進(jìn)行脈沖激光沉積得到化學(xué)式為MeAl₂S₄:xCu²⁺，yIr³⁺的銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，0.01≤y≤0.08，MeAl₂S₄是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Zn、Mg、Ca、Sr或Ba。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，基靶間距為60mm，襯底的溫度為500℃，工作氣體的流量為20sccm，工作壓強(qiáng)為3Pa，脈沖激光能量為150W。

在優(yōu)選實(shí)施例中，銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為60nm～400nm。

一種薄膜電致發(fā)光器件，該薄膜電致發(fā)光器件包括依次層疊的襯底、陽(yáng)極層、發(fā)光層以及陰極層，所述發(fā)光層的材料為銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，該銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為MeAl₂S₄:xCu²⁺，yIr³⁺的銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，0.01≤y≤0.08，MeAl₂S₄是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Zn、Mg、Ca、Sr或Ba。

在優(yōu)選實(shí)施例中，發(fā)光層的厚度為60nm～400nm。

一種薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，包括以下步驟：

提供具有陽(yáng)極的襯底；

在所述陽(yáng)極上形成發(fā)光層，所述發(fā)光層的材料為銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，該銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為MeAl₂S₄:xCu²⁺，yIr³⁺的銅銥共摻雜堿土硫代鋁酸鹽發(fā)光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，0.01≤y≤0.08，MeAl₂S₄是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Zn、Mg、Ca、Sr或Ba；

在所述發(fā)光層上形成陰極。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述發(fā)光層的制備包括以下步驟：