[發明專利]固態成像元件及其制造方法和電子設備

無效

• 申請號: 201210459290.7
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN103165632A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 荒川伸一
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 陳桂香;褚海英

1.一種固態成像元件，包括：

轉移部，所述轉移部被配置為將所有像素中由光電轉換部同時生成的電荷轉移至存儲部并且具有金屬門；以及

光屏蔽部，所述光屏蔽部是通過在溝槽部分中填充金屬而形成的，其中所述溝槽部分是通過在所述轉移部周圍挖掘層間絕緣膜而形成的。

2.如權利要求1所述的固態成像元件，其中

所述光屏蔽部的尖端部分是以朝著所述轉移部周圍的半導體基板伸入內襯膜的厚度的方式形成的，其中所述內襯膜是在所述層間絕緣膜和所述半導體基板之間形成的。

3.如權利要求1所述的固態成像元件，其中

所述轉移部的金屬門與所述光屏蔽部部分連接。

4.如權利要求1所述的固態成像元件，其中

在具有以陣列形式排列的多個像素的像素陣列部周圍形成的外圍電路部中形成所述光屏蔽部期間，形成了用作局部互連物的金屬部。

5.一種制造方法，包括：

形成被配置為將所有像素中由光電轉換部同時生成的電荷轉移至存儲部的轉移部的金屬門；

通過在所述轉移部周圍挖掘層間絕緣膜形成溝槽部分；以及

通過在所述溝槽部分中填充金屬形成光屏蔽部。

6.一種電子設備，包括：

固態成像元件，所述固態成像元件包括：

轉移部，所述轉移部被配置為將所有像素中由光電轉換部同時生成的電荷轉移至存儲部并且具有金屬門；以及

光屏蔽部，所述光屏蔽部是通過在溝槽部分中填充金屬而形成的，其中所述溝槽部分是通過在所述轉移部周圍挖掘層間絕緣膜而形成的。