[發(fā)明專利]一種超聲波掃描器件處理方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210459283.7
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN102928280A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 杜澤明
• 申請（專利權）人: 蘇州華碧微科檢測技術有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明涉及失效分析領域，特別涉及一種超聲波掃描的器件處理方法。

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背景技術

超聲顯微鏡，是指利用樣品聲學性能的差別，用聲成像的方法來生成高反差、高放大倍率的超聲像的裝置。有吸收式超聲顯微鏡、激光掃描法超聲顯微鏡和布格拉衍射成像法超聲顯微鏡等。用于顯示介質材料內部的微小結構，能觀察材料內部與聲學性質差別有關的結構。在微電子學上，利用反射式聲鏡，可對大規(guī)模集成電路不同層次進行非破壞性觀察。在實際使用中，部分集成電路或者器件表面刻有標記，形成一定的凹痕，這些凹痕在超聲波成像后形成一定的陰影，無法確定在陰影區(qū)域中的芯片連接是否完好，從而對試驗結果的判斷產(chǎn)生了嚴重影響。因此，如何避免被掃描器件標記對掃描結果的影響成為該領域亟待解決的問題。

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發(fā)明內容

為了解決因為器件表面的標記對超聲波掃描成像結果的判斷產(chǎn)生的嚴重影響的問題，本發(fā)明提出以下技術方案：

一種超聲波掃描器件處理方法，該方法包括以下步驟：

A、使用粗砂紙打磨器件的表面，直至器件表面標記完全去除；

B、使用細砂紙打磨器件的表面，直至器件表面平整、光滑；

C、對器件表面進行拋光；

D、將處理好的器件進行超聲波掃描。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述步驟A中粗砂紙的型號為100～300目。

作為本發(fā)明的另一種優(yōu)選方案，所述步驟B中的細砂紙型號為1500～5000目。

本發(fā)明帶來的有益效果是：本發(fā)明通過簡單打磨、拋光工序，去除了器件表面的凹痕標記，從而避免了在超聲波掃描成像過程中陰影的產(chǎn)生，可以準確判斷出器件內部的電路情況。本發(fā)明極大地提高了超聲波掃描試驗判斷的準確性。

具體實施方式

下面對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本發(fā)明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

一種超聲波掃描器件處理方法，該方法包括以下步驟：

A、使用200目的粗砂紙打磨器件的表面，直至器件表面標記完全去除；

B、使用2100目的細砂紙打磨器件的表面，直至器件表面平整、光滑；

C、對器件表面進行拋光；

D、將處理好的器件進行超聲波掃描。

經(jīng)過本發(fā)明方法掃描的器件，內部電路結構清晰，可明確判斷出器件內部是否存在缺陷，極大地提高了實驗的準確性。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本領域的技術人員在本發(fā)明所揭露的技術范圍內，可不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。因此，本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。