[發明專利]光學編碼器用反射板及其制造方法、以及光學編碼器有效
| 申請號： | 201210459169.4 | 申請日： | 2008-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN102980602A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 大志田悟;加藤勝 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G01D5/347 | 分類號： | G01D5/347;C23C18/54;C25D11/02 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 賈成功 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 編碼 器用 反射 及其 制造 方法 以及 編碼器 | ||
【權利要求書】：
1.一種光學式編碼器用反射板，具備：
樹脂基材；
反射區域，其形成在所述樹脂的表面；以及
低反射區域，其具有形成在所述表面的多個孔。
2.如權利要求1所述的光學式編碼器用反射板，其具備在該反射區域反射的光可透射過且覆蓋該反射區域中的至少一部分的被覆膜。
3.如權利要求2所述的光學式編碼器用反射板，其具備覆蓋該被覆膜與該低反射區域的第2被覆膜。
4.如權利要求2所述的光學式編碼器用反射板，其中，該低反射區域被染色。
5.如權利要求1-4的任一項所述的光學式編碼器用反射板，其具備具有該反射區域與該低反射區域的絕對圖案。
6.一種光學式編碼器用反射板的制造方法，包含：
準備具有鏡面狀的反射面的基材；
在所述反射面形成透明光致抗蝕劑膜；
通過使所述透明光致抗蝕劑膜的一部分曝光及顯影，使所述反射面的一部分露出；
在露出后的所述反射面的一部分，作為非反射區域形成含有無電鍍覆膜或電解氧化膜的膜；
形成被覆所述透明光致抗蝕劑膜與所述膜的保護膜。
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