[發(fā)明專利]半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法和系統(tǒng)及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210458858.3
• 申請(qǐng)日: 2012-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN103809582A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張京華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G05B23/02
• 分類號(hào): G05B23/02;G05B17/02
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 陳振

1.一種半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法，其特征在于，包括如下步驟：

生成半導(dǎo)體應(yīng)用系統(tǒng)中的各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)應(yīng)的各個(gè)模擬設(shè)備，并設(shè)置各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息、各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息的數(shù)據(jù)類型、控制系統(tǒng)所控制的上位機(jī)與各個(gè)模擬設(shè)備的通信協(xié)議類型；

根據(jù)各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息和各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息的數(shù)據(jù)類型配置模擬設(shè)備運(yùn)行的參數(shù)信息，并設(shè)置相對(duì)應(yīng)的參數(shù)信息下執(zhí)行的仿真操作及各個(gè)模擬設(shè)備之間所使用的通訊指令；

根據(jù)每個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息、數(shù)據(jù)類型、參數(shù)信息及仿真操作的關(guān)系設(shè)置每個(gè)模擬設(shè)備內(nèi)部的耦合條件，根據(jù)各個(gè)模擬設(shè)備之間的通訊指令的關(guān)系及各個(gè)模擬設(shè)備之間聯(lián)動(dòng)的仿真操作的關(guān)系設(shè)置各個(gè)模擬設(shè)備之間的耦合條件；

根據(jù)各個(gè)模擬設(shè)備內(nèi)部的耦合條件以及各個(gè)模擬設(shè)備之間的耦合條件建立設(shè)備仿真的數(shù)據(jù)模型；

當(dāng)接收到模擬控制系統(tǒng)模擬操作的控制指令時(shí)，模擬執(zhí)行相應(yīng)的控制指令并在設(shè)備仿真的數(shù)據(jù)模型內(nèi)執(zhí)行控制指令，測(cè)試出相對(duì)應(yīng)的仿真操作的測(cè)試結(jié)果；

對(duì)比預(yù)設(shè)的控制系統(tǒng)的控制指令所描述的預(yù)測(cè)操作結(jié)果與仿真操作的測(cè)試結(jié)果，判斷所測(cè)試的控制系統(tǒng)的可靠性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法，其特征在于，所述生成應(yīng)用系統(tǒng)中的各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)應(yīng)的各個(gè)模擬設(shè)備，并設(shè)置各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息、各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息的數(shù)據(jù)類型、控制系統(tǒng)所控制的上位機(jī)與各個(gè)模擬設(shè)備的通信協(xié)議類型，包括如下步驟：

確定控制系統(tǒng)所應(yīng)用的系統(tǒng)中所需控制的各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備；

針對(duì)各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備生成一一對(duì)應(yīng)的各個(gè)模擬設(shè)備；

設(shè)置各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息、各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息的數(shù)據(jù)類型、所述控制系統(tǒng)所在上位機(jī)與各個(gè)模擬設(shè)備的通信協(xié)議類型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法，其特征在于，所述根據(jù)每個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息、數(shù)據(jù)類型、參數(shù)信息及仿真操作的關(guān)系設(shè)置每個(gè)模擬設(shè)備內(nèi)部的耦合條件，根據(jù)各個(gè)模擬設(shè)備之間的通訊指令的關(guān)系及各個(gè)模擬設(shè)備之間聯(lián)動(dòng)的仿真操作的關(guān)系設(shè)置各個(gè)模擬設(shè)備之間的耦合條件，包括如下步驟：

耦合每個(gè)模擬設(shè)備內(nèi)部屬性信息、數(shù)據(jù)類型、參數(shù)信息及仿真操作的關(guān)系作為每個(gè)模擬設(shè)備內(nèi)部的耦合條件；

耦合各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備之間的通訊指令的關(guān)系及各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備之間聯(lián)動(dòng)的仿真操作的關(guān)系作為各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備之間的耦合條件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法，其特征在于，所述對(duì)比預(yù)設(shè)的控制系統(tǒng)的控制指令所描述的預(yù)測(cè)操作結(jié)果與仿真操作的測(cè)試結(jié)果，判斷所測(cè)試的控制系統(tǒng)的可靠性，包括如下步驟：

對(duì)比預(yù)設(shè)的控制系統(tǒng)的控制指令所描述的預(yù)測(cè)操作結(jié)果與設(shè)備仿真的數(shù)據(jù)模型仿真操作的測(cè)試結(jié)果，判斷控制系統(tǒng)的控制指令所描述的操作結(jié)果與仿真結(jié)果是否一致；

若判斷結(jié)果為是，則判定所測(cè)試的控制系統(tǒng)為可靠；若判斷結(jié)果為否，則判定所測(cè)試的控制系統(tǒng)不可靠。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法，其特征在于，所述各個(gè)模擬設(shè)備的屬性信息的數(shù)據(jù)類型為布爾類型、數(shù)值類型、字節(jié)型、短整型、整型、長(zhǎng)整型、字符型、浮點(diǎn)型、或者雙精度型中的一種或者一種以上的組合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體制造工藝中控制系統(tǒng)仿真測(cè)試方法，其特征在于，所述控制系統(tǒng)為半導(dǎo)體制造工藝中真空系統(tǒng)中對(duì)其泵、閥門、壓力計(jì)進(jìn)行控制的真空控制系統(tǒng)。