[發明專利]一種產生法諾共振現象的金屬-介質耦合諧振腔

無效

• 申請號: 201210458329.3
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN102928912A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 陳建軍;李智;張茹;肖井華
• 申請（專利權）人: 北京郵電大學
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360
• 代理人: 張肖琪

1.一種金屬-介質耦合諧振腔，其特征在于，所述耦合諧振腔包括：金屬-介質-金屬MIM波導、以及在MIM波導內的分支諧振腔（4）和兩個擋板（5）；其中，所述MIM波導為三層平板結構，第一層（1）和第三層（3）為金屬材料，二者之間為介質層（2）；所述分支諧振腔（4）從側面耦合在金屬-介質-金屬MIM波導的介質層（2）上；所述兩個擋板（5）垂直設置在介質層（2）內，并分別位于所述分支諧振腔（4）的兩側。

2.如權利要求1所述的耦合諧振腔，其特征在于，所述MIM波導的第一層（1）和第三層（3）采用金或銀等。

3.如權利要求1所述的耦合諧振腔，其特征在于，所述介質層（2）的厚度h在10納米至1微米之間。

4.如權利要求1所述的耦合諧振腔，其特征在于，所述分支諧振腔（4）的剖面為矩形，長度d在100nm~1000nm之間；寬度w在10nm~1000nm之間。

5.如權利要求1所述的耦合諧振腔，其特征在于，所述分支諧振腔（4）和介質層（2）為相同的介質。

6.如權利要求1所述的耦合諧振腔，其特征在于，所述兩個擋板（5）的材料采用高折射率的介質或金屬。

7.如權利要求1所述的耦合諧振腔，其特征在于，所述兩個擋板（5）的厚度為1nm~100nm。