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[發明專利]一種盲埋孔電鍍銅填孔方法無效

專利信息
申請號: 201210458136.8 申請日: 2012-11-15
公開(公告)號: CN102912395A 公開(公告)日: 2013-02-06
發明(設計)人: 徐軍磊 申請(專利權)人: 蘇州正信電子科技有限公司
主分類號: C25D7/00 分類號: C25D7/00;C25D3/38
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215144 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 盲埋孔電 鍍銅 方法
【權利要求書】:

1.一種盲埋孔電鍍銅填孔方法,包括酸洗、水洗、微蝕、水洗、預浸、水洗、電鍍銅填孔、水洗一系列步驟,通過藥水抑制調節電鍍過程中高低電流區的金屬沉積速度,實現對盲埋孔的填充效果。

2.根據權利要求1所述的一種盲埋孔電鍍銅填孔方法以,其特征在于:所述酸洗溶液為濃度為8-12%的硫酸溶液。

3.根據權利要求1所述的一種盲埋孔電鍍銅填孔方法以,其特征在于:所述微蝕溶液為2-4%的硫酸溶液與2-4%雙氧水混合溶液。

4.根據權利要求1所述的一種盲埋孔電鍍銅填孔方法以,其特征在于:所述預浸溶液為1-3%的硫酸溶液與10-20%的預浸劑混合溶液。

5.根據權利要求1所述的一種盲埋孔電鍍銅填孔方法以,其特征在于:所述電鍍液為200-220g/L的硫酸銅溶液、80-120g/L的硫酸溶液、60-90ppm的氯離子、4-5ml/L的光亮劑、8-12ml/L的潤濕劑及10-20ml/L的整平劑組成的溶合溶液。

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