[發(fā)明專利]銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應(yīng)用

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210456902.7
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN103805186A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周明杰;王平;陳吉星;張振華
• 申請（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: C09K11/69
• 分類號: C09K11/69;H01L33/26
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，其化學(xué)式為Me₃(VO₄)₂:xCu²⁺，yIr³⁺，其中Me₃(VO₄)₂是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba，0.01≤x≤0.08，0.01≤y≤0.1。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，所述銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為80nm～300nm。

3.一種銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

將襯底裝入化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)室中，并將反應(yīng)室的真空度設(shè)置為1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3pa；

調(diào)節(jié)襯底的溫度為250℃～650℃，轉(zhuǎn)速為50轉(zhuǎn)/分鐘～1000轉(zhuǎn)/分鐘，采用氬氣氣流的載體，根據(jù)Me₃(VO₄)₂:xCu²⁺，yIr³⁺各元素的化學(xué)計量比將(C₅H₅)₂Me、氧化二乙酰丙酮合釩、乙酰丙酮銅和乙酰丙酮銥通入反應(yīng)室內(nèi)；及

通入氧氣，進行化學(xué)氣相沉積得到化學(xué)式為Me₃(VO₄)₂:xCu²⁺，yIr³⁺的銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜，其中，Me₃(VO₄)₂是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba，0.01≤x≤0.08，0.01≤y≤0.1。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述(C₅H₅)₂Me、氧化二乙酰丙酮合釩、乙酰丙酮銅和乙酰丙酮銥?zāi)柋葹?∶2∶(0.01～0.08)∶(0.01～0.1)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述氬氣氣流量為5～15sccm，所述氧氣氣流量為10～200sccm。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，將所述襯底裝入所述反應(yīng)室后將所述襯底在600℃～800℃下熱處理10分鐘～30分鐘。

7.一種薄膜電致發(fā)光器件，該薄膜電致發(fā)光器件包括依次層疊的襯底、陽極層、發(fā)光層以及陰極層，其特征在于，所述發(fā)光層的材料為銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜，該銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為Me₃(VO₄)₂:xCu²⁺，yIr³⁺，其中Me₃(VO₄)₂是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba，0.01≤x≤0.08，0.01≤y≤0.1。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的薄膜電致發(fā)光器件，其特征在于，所述發(fā)光層的厚度為80nm～300nm。

9.一種薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供具有陽極的襯底；

在所述陽極上形成發(fā)光層，所述發(fā)光層的薄膜為銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜，該銅銥共摻雜釩酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為Me₃(VO₄)₂:xCu²⁺，yIr³⁺，其中Me₃(VO₄)₂是基質(zhì)，銅元素和銥元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr或Ba，0.01≤x≤0.08，0.01≤y≤0.1；

在所述發(fā)光層上形成陰極。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，所述發(fā)光層的制備包括以下步驟：

將所述襯底裝入化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)室，并將反應(yīng)室的真空度設(shè)置為1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3Pa；

調(diào)節(jié)襯底的溫度為250℃～650℃，轉(zhuǎn)速為50轉(zhuǎn)/分鐘～1000轉(zhuǎn)/分鐘，采用氬氣氣流作為載體，根據(jù)Me₃(VO₄)₂:xCu²⁺，yIr³⁺各元素的化學(xué)計量比將(C₅H₅)₂Me、氧化二乙酰丙酮合釩、乙酰丙酮銅和乙酰丙酮銥通入反應(yīng)室內(nèi)，其中，氬氣氣流量為5～15sccm，

然后通入氧氣，氧氣氣流量為10～200sccm；沉積薄膜在所述陽極上形成發(fā)光層。