[發明專利]一種顯影噴頭

有效

• 申請號: 201210456790.5
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN103809390A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 張浩淵
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明涉及在半導體晶片上獲得光刻膠圖形的顯影處理設備，具體地說是一種顯影噴頭。?

背景技術

光刻后圖形需要顯影來獲取圖形，隨著半導體技術的發展，對顯影的要求越來越高；因此，如何將顯影液均勻涂布在晶片上成為相關領域技術人員不斷努力的方向，從而推動了顯影噴頭的不斷革新。顯影噴頭噴到晶片上的顯影液覆蓋越來越均勻，促使顯影效果逐漸提高；但卻導致了顯影噴頭制造成本越來越高。?

發明內容

本發明的目的在于提供一種組合式顯影噴頭。該顯影噴頭在保證顯影效果的情況下，提高關鍵部件加工精度，保證顯影均勻性，降低制造成本。?

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：?

一種顯影噴頭，位于放置晶片的承片臺上方，包括顯影供液管、固定托架調節塊、顯影管接頭、顯影管固定托架及顯影噴管，其中顯影管固定托架的兩端分別安裝有沿其長度方向往復移動的固定托架調節塊，每個固定托架調節塊上均設有顯影管接頭；所述顯影噴管安裝在顯影管固定托架上、兩端分別與顯影管接頭的一端連通，每個顯影管接頭的另一端通過顯影供液管與顯影液源相連通；所述顯影噴管通過固定托架調節塊在顯影管固定托架上的移動水平拉伸，在顯影噴管上均布有多個噴孔。?

其中：所述固定托架調節塊上設有滑塊，該滑塊與顯影管固定托架沿長度方向設置的滑槽相連接，并在滑槽內往復移動；所述固定托架調節塊分為上下兩部分，并且上部與下部交錯設置，所述下部中間挖空、形成滑塊；所述顯影管接頭位于上部的下方，顯影管接頭的另一端固接在上部的底面，在所述上部開有通孔，顯影供液管的一端穿過該通孔與顯影管接頭連通，另一端連接至顯影液源；所述顯影管固定托架高度方向的截面為“T”形，“T”形下部的兩側為滑槽，“T”形下部的中間沿長度方向開有直孔，所述顯影噴管容置在該直孔內；所述直孔的徑向截面為圓形，底部開口，該直孔的孔壁與顯影噴管緊?密貼合；所述顯影噴頭由兩端的顯影供液管供液。?

本發明的優點與積極效果為：?

1．采用本發明的顯影噴頭，顯影液在晶圓上的停留時間沒有差異，通過調整固定托架調節塊的位置，可以保證顯影噴管水平拉伸，使顯影液均勻覆蓋，提高了顯影均勻性。?

2．本發明的顯影噴頭由兩端供液，使得顯影供液管的內部壓力更加均勻。?

3．本發明的顯影噴管為外購的PFA管，通過提高顯影噴管上噴孔的加工精度，保證顯影均勻性，降低了制造成本。?

附圖說明

圖1為本發明的結構主視圖；?

圖2為圖1的俯視圖；?

圖3為圖1中拿掉承片臺及晶片的仰視圖；?

圖4為本發明固定托架調節塊的結構主視圖；?

圖5為圖4的左視圖；?

圖6為本發明顯影管固定托架的結構主視圖；?

圖7為圖6的左視圖；?

其中：1為顯影供液管，2為固定托架調節塊，3為顯影管接頭，4為承片臺，5為顯影管固定托架，6為晶片，7為顯影噴管，8為滑槽，9為滑塊，10為直孔。?

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳述。?

如圖1～圖3所示，本發明的顯影噴頭位于放置晶片6的承片臺4上方，包括顯影供液管1、固定托架調節塊2、顯影管接頭3、顯影管固定托架5及顯影噴管7，其中顯影管固定托架5的兩端分別安裝有固定托架調節塊2，每個固定托架調節塊2上均設有顯影管接頭3；顯影噴管7安裝在顯影管固定托架5上、兩端分別與顯影管接頭3的一端連通，每個顯影管接頭3的另一端通過顯影供液管1與顯影液源相連通；顯影噴管7通過固定托架調節塊2在顯影管固定托架5上的移動水平拉伸，在顯影噴管7上均布有多個噴孔，該噴孔向由承片臺4帶動旋轉的晶片6上噴灑顯影液。?

如圖6、圖7所示，顯影管固定托架5高度方向的截面為“T”形，“T”形下部的兩側為滑槽8，“T”形下部的中間沿長度方向開有直孔10，該直孔10的徑向截面為圓形，底部開口；顯影噴管7容置在該直孔10內，直孔10的孔壁與顯影噴管7緊密貼合，防止顯影噴管7竄動。?

如圖4、圖5所示，固定托架調節塊2分為上下兩部分，并且上部與下部交錯設置，其中下部中間挖空、形成與顯影管固定托架5沿長度方向設置的滑槽8相對應的滑塊9，固定托架調節塊2通過滑塊9在滑槽8內往復移動；顯影管接頭3位于上部的下方，顯影管接頭3的另一端固接在上部的底面，在上部開有通孔，顯影供液管1的一端穿過該通孔與顯影管接頭3連通，另一端連接至顯影液源。?