[發(fā)明專(zhuān)利]冷氫化電加熱器在線清洗方法及清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210456733.7
• 申請(qǐng)日: 2012-11-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102974569A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊林喜;王曉亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B5/00
• 分類(lèi)號(hào): B08B5/00;C01B33/107
• 代理公司: 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391
• 代理人: 范曉斌;張群峰

1.一種冷氫化電加熱器在線清洗方法，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化電加熱器在線清洗方法包括：

清洗步驟：從氯化氫供料系統(tǒng)中引入氯化氫至所述冷氫化系統(tǒng)的電加熱器中，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅發(fā)生反應(yīng)，得到包含反應(yīng)生成的三氯氫硅、氫氣以及未反應(yīng)的氯化氫的清洗后氣；

冷凝步驟：將所述清洗后氣在冷氫化系統(tǒng)中冷凝分離為三氯氫硅液體和氫氣、氯化氫氣體，其中氫氣和氯化氫作為循環(huán)氣送入電加熱器循環(huán)使用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，氯化氫與電加熱器內(nèi)的無(wú)定型硅的反應(yīng)溫度為280-320℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在清洗步驟中還包括引入純氫氣至電加熱器中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在冷凝步驟中分離出來(lái)的氫氣和氯化氫與所述純氫氣混合為混合氣一起引入電加熱器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在清洗步驟中，來(lái)自氯化氫供料系統(tǒng)的氯化氫和所述混合氣分別以200-300Nm³/h和4000-6000Nm³/h的流量引入電加熱器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，當(dāng)電加熱器中的氯化氫與氫氣的摩爾比為1∶10時(shí)停止從氯化氫供料系統(tǒng)向電加熱器中引入氯化氫。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在清洗步驟中，還包括實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電加熱器的進(jìn)氣溫度和出氣溫度，當(dāng)電加熱器出氣溫度與進(jìn)氣溫度相同時(shí)停止清洗。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷氫化電加熱器在線清洗方法，其特征在于，在執(zhí)行清洗步驟之前，還包括：

清洗前準(zhǔn)備步驟：先停止向冷氫化系統(tǒng)中送入硅粉，待冷氫化系統(tǒng)中的硅粉完全消耗后，再停止向冷氫化系統(tǒng)中送入四氯化硅。

9.一種冷氫化電加熱器在線清洗裝置，用于在制備三氯氫硅的冷氫化系統(tǒng)中在線地去除電加熱器中的無(wú)定型硅，所述冷氫化系統(tǒng)包括：

氫氣供給管道；

四氯化硅供給管道；

分別與氫氣供給管道和四氯化硅供給管道連接的四氯化硅汽化器；

具有進(jìn)氣口和出氣口的電加熱器，所述電加熱器與四氯化硅汽化器連接，所述電加熱器具有溫度變送器和功率調(diào)控器，其中溫度變送器實(shí)時(shí)采集電加熱器進(jìn)氣口和出氣口處的溫度信號(hào)并將采集的溫度信號(hào)傳送至功率調(diào)節(jié)器，功率調(diào)節(jié)器根據(jù)所述溫度信號(hào)控制加熱功率，使得出氣口處的溫度為預(yù)設(shè)溫度；

與電加熱器連接的氫化反應(yīng)器；

與氫化反應(yīng)器連接的洗滌系統(tǒng)；

與洗滌系統(tǒng)連接的冷凝系統(tǒng)；以及

與冷凝系統(tǒng)連接的循環(huán)壓縮機(jī)，所述循環(huán)壓縮機(jī)與四氯化硅汽化器連接，其特征在于，

對(duì)所述電加熱器進(jìn)行在線清洗的裝置包括：

與電加熱器連接的氯化氫供料系統(tǒng)，用于向電加熱器中提供與無(wú)定型硅反應(yīng)的氯化氫。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的冷氫化電加熱器在線清洗裝置，其特征在于，所述氯化氫供料系統(tǒng)包括：

氯化氫儲(chǔ)罐；

與氯化氫儲(chǔ)罐連接的進(jìn)氣緩沖罐；

與進(jìn)氣緩沖罐連接的氯化氫壓縮機(jī)；

與氯化氫壓縮機(jī)連接的出氣緩沖罐，

所述出氣緩沖罐與冷氫化系統(tǒng)中的電加熱器連接。