[發(fā)明專利]在線測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各酸濃度的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210455850.1
• 申請(qǐng)日: 2012-11-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102967686A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳玉英;徐雅玲;黃源;尹云艦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司
• 主分類號(hào): G01N31/16
• 分類號(hào): G01N31/16;G01N31/22
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

1.一種在線測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各酸濃度的方法，其特征在于：

根據(jù)ITO蝕刻液當(dāng)中酸的種類和工作濃度，分別設(shè)置內(nèi)盛高濃度單酸的酸液調(diào)節(jié)槽，所述酸液調(diào)節(jié)槽通過(guò)調(diào)節(jié)閥與向蝕刻機(jī)臺(tái)提供蝕刻液的供應(yīng)槽相連；

對(duì)ITO蝕刻液供應(yīng)槽進(jìn)行在線取樣，樣品進(jìn)入自動(dòng)滴定儀并溶入有機(jī)溶劑，然后以預(yù)先標(biāo)定過(guò)的堿性有機(jī)標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液為滴定液，采用動(dòng)態(tài)?pH滴定模式進(jìn)行滴定；

滴定結(jié)果及相關(guān)數(shù)據(jù)輸入電腦主機(jī)，電腦主機(jī)根據(jù)pH電極信號(hào)的變化曲線，找到各酸在滴定終點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的堿性有機(jī)標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的消耗體積，進(jìn)而計(jì)算出樣品中各種酸的濃度；

電腦主機(jī)向各個(gè)酸液調(diào)節(jié)槽下方的控制閥發(fā)出控制信號(hào)，以輸送適量的高濃度酸至ITO蝕刻液供應(yīng)槽中，使供應(yīng)槽中ITO蝕刻液的濃度達(dá)標(biāo)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各酸濃度的方法，其特征在于：所述自動(dòng)滴定儀采用的有機(jī)溶劑是乙醇、甲醇或異丙醇，采用的堿性有機(jī)標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液是四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨或四丁基氫氧化銨的水溶液。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各酸濃度的方法，其特征在于：所述自動(dòng)滴定儀采用的有機(jī)溶劑是乙醇，采用的堿性有機(jī)標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液是四甲基氫氧化銨水溶液。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在線測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各酸濃度的方法，其特征在于：所述ITO蝕刻液是“硫酸+硝酸+醋酸”三酸系ITO蝕刻液，所述酸液調(diào)節(jié)槽包括硫酸調(diào)節(jié)槽、硝酸調(diào)節(jié)槽和醋酸調(diào)節(jié)槽，滴定過(guò)程中，待滴定顯示曲線所示的pH值超過(guò)11時(shí)停止滴定，取pH值為3.5的滴定點(diǎn)為EP1點(diǎn)，取pH值為4.5～6.5當(dāng)中的滴定點(diǎn)為EP2點(diǎn)，取pH值為10的滴定點(diǎn)為EP3點(diǎn)，以EP1、EP2、EP3所對(duì)應(yīng)的堿性有機(jī)標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的消耗體積為依據(jù)計(jì)算樣品中三種酸的濃度。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在線測(cè)定和控制ITO蝕刻液中各酸濃度的方法，其特征在于：所述ITO蝕刻液是“硫酸+醋酸”二酸系ITO蝕刻液，所述酸液調(diào)節(jié)槽包括硫酸調(diào)節(jié)槽和醋酸調(diào)節(jié)槽，滴定過(guò)程中，待滴定顯示曲線所示的pH值超過(guò)11時(shí)停止滴定，取pH值為3.5的滴定點(diǎn)為EP1點(diǎn)，取pH值為10的滴定點(diǎn)為EP2點(diǎn)，以EP1和EP2所對(duì)應(yīng)的堿性有機(jī)標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的消耗體積為依據(jù)計(jì)算樣品中硫酸和醋酸的濃度。