[發明專利]閥板連接組件、門閥裝置及等離子體加工設備

有效

• 申請號: 201210455667.1
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN103807454A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 張金斌
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: F16K1/48
• 分類號: F16K1/48;F16K1/20;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種閥板連接組件，用于將閥板與驅動軸連接，所述驅動軸用于驅動所述閥板繞其旋轉，其特征在于，包括主體、第一調節單元和第二調節單元，其中

所述主體的一端與所述驅動軸連接，另一端借助所述第一調節單元和第二調節單元與所述閥板連接；

所述第一調節單元的一端與所述主體通過螺紋連接，另一端與所述閥板可旋轉地連接，并且所述第一調節單元的軸線分別垂直于所述驅動軸的軸向和徑向；所述第一調節單元通過改變其與所述主體和/或閥板在所述第一調節單元的軸向上的相對位置，來調節所述主體和閥板之間在所述第一調節單元所在位置處的間距；

在所述主體中設置有沿分別垂直于所述驅動軸的軸向和徑向的方貫穿所述主體厚度的擺動空間，所述擺動空間與所述第一調節單元間隔設置；所述第二調節單元的一端穿過所述擺動空間，且與所述主體可旋轉地連接，另一端與所述閥板可旋轉地連接，并且所述第二調節單元的軸線分別垂直于所述驅動軸的軸向和徑向；所述第二調節單元通過改變其與所述主體和/或閥板在所述第二調節單元的軸向上的相對位置，來調節所述主體和閥板之間在所述第二調節單元所在位置處的間距。

2.根據權利要求1所述的閥板連接組件，其特征在于，所述第一調節單元包括第一調節柱、第一螺母和第一閥板連接軸，其中

在所述主體上設置有沿分別垂直于所述驅動軸的軸向和徑向的方向貫穿所述主體厚度的安裝通孔；

所述第一閥板連接軸可自轉地與所述閥板連接，且其軸線與所述安裝通孔的軸線相互垂直，并與所述驅動軸的軸線相互平行；并且，在所述第一閥板連接軸上設置有貫穿其徑向厚度的第一連接孔，所述第一連接孔的軸線與所述安裝通孔的軸線重合；

所述第一調節柱分別穿過所述安裝通孔和第一連接孔，并與二者采用螺紋連接的方式相配合；并且，所述第一調節柱與所述安裝通孔相配合的螺紋的方向與所述第一調節柱與所述第一連接孔相配合的螺紋的方向相反；

通過旋轉所述第一調節柱來改變其分別與所述安裝通孔和第一連接孔在所述安裝通孔的軸向上的相對位置來調節所述主體和閥板之間在所述第一調節柱所在位置處的間距；

所述第一螺母固定在所述安裝通孔的端面上，且與所述第一調節柱相配合。

3.根據權利要求1所述的閥板連接組件，其特征在于，所述第一調節單元包括第一調節柱、第一螺母和第一閥板連接軸，其中

在所述主體上設置有安裝通孔，所述安裝通孔沿垂直于所述驅動軸的軸線方向貫穿所述主體，且與所述旋轉空間間隔設置；

所述第一閥板連接軸可自轉地與所述閥板連接，且其軸線與所述安裝通孔的軸線相互垂直，并與所述驅動軸的軸線相互平行；

所述第一調節柱包括沿其軸向串接的第一子調節柱和第二子調節柱，所述第一子調節柱的一端穿過所述安裝通孔，且與所述安裝通孔采用螺紋連接的方式相配合；所述第一子調節柱的另一端與所述第二子調節柱的一端可自轉地連接，所述第二子調節柱的另一端與所述第一閥板連接軸固定連接；

通過旋轉所述第一調節柱來改變其與所述安裝通孔在所述安裝通孔的軸向上的相對位置來調節所述主體和閥板之間在所述第一調節柱所在位置處的間距；

所述第一螺母固定在所述安裝通孔的端面上，且與所述第一子調節柱相配合。

4.根據權利要求2或3所述的閥板連接組件，其特征在于，所述安裝通孔為由兩個不同孔徑的孔組成的階梯孔，并且位于靠近所述閥板的一端的孔的孔徑大于位于遠離所述閥板的一端的孔的孔徑；所述第一調節柱的一端或所述第一子調節柱的一端與位于遠離所述閥板的一端的所述孔采用螺紋連接的方式相配合。