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[發明專利]單晶硅片的制絨液及其制備方法無效

專利信息
申請號: 201210455103.8 申請日: 2012-11-14
公開(公告)號: CN102925984A 公開(公告)日: 2013-02-13
發明(設計)人: 黃侖;徐建;吳俊清;王金偉;史孟杰 申請(專利權)人: 東方電氣集團(宜興)邁吉太陽能科技有限公司
主分類號: C30B33/10 分類號: C30B33/10
代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218 代理人: 夏平
地址: 214203 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 單晶硅 制絨液 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種單晶硅片制絨液的添加劑,其特征在于其中包含的成分為:氫氧化鈉、四甘醇和余量的水,其中所述水為去離子水。

2.根據權利要求1所述的單晶硅片制絨液的添加劑,其特征在于所述四甘醇與水的體積比為1-10:30,氫氧化鈉與水的重量比為1-5:80。

3.根據權利要求1所述的單晶硅片制絨液的添加劑,其特征在于所述的氫氧化鈉為固體粉末。

4.一種單晶硅片制絨液的制備方法,其特征在于包括如下步驟:

(1)將重量百分含量為0.5-3%的NaOH和10-15%的IPA溶于去離子水中,得到堿性制絨液;

(2)將權利要求1所述的添加劑加入步驟(1)的堿性制絨液中,得到制絨液,其中添加劑與制絨液的重量比為1-3:100。

5.根據權利要求4所述的用于單晶硅片制絨液的制備方法,其特征在于所述步驟(1)中NaOH的重量百分比為2.5%,IPA的重量百分比為12%。

6.一種單晶硅片制絨方法,其特征在于,將權利要求1或2中的添加劑加入堿性制絨液中,然后將單晶硅片浸泡在含有添加劑的制絨液中進行表面構化,反應溫度為78-82℃,反應時間為800-1200s。

7.根據權利要求6所述的制絨方法,其中所述添加劑與制絨液的重量比為1-3:100。

8.根據權利要求7所述的制絨方法,其特征在于所述堿性制絨液通過將重量百分含量為0.5-3%的NaOH和10-15%的IPA溶于去離子水制成。

9.根據權利要求7的制絨方法,其特征在于所述堿性制絨液通過將重量百分含量為2.5%的NaOH和12%的IPA溶于去離子水中制成。

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