[發明專利]單晶硅片的制絨液及其制備方法無效
| 申請號: | 201210455103.8 | 申請日: | 2012-11-14 |
| 公開(公告)號: | CN102925984A | 公開(公告)日: | 2013-02-13 |
| 發明(設計)人: | 黃侖;徐建;吳俊清;王金偉;史孟杰 | 申請(專利權)人: | 東方電氣集團(宜興)邁吉太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B33/10 | 分類號: | C30B33/10 |
| 代理公司: | 南京天華專利代理有限責任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
| 地址: | 214203 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶硅 制絨液 及其 制備 方法 | ||
1.一種單晶硅片制絨液的添加劑,其特征在于其中包含的成分為:氫氧化鈉、四甘醇和余量的水,其中所述水為去離子水。
2.根據權利要求1所述的單晶硅片制絨液的添加劑,其特征在于所述四甘醇與水的體積比為1-10:30,氫氧化鈉與水的重量比為1-5:80。
3.根據權利要求1所述的單晶硅片制絨液的添加劑,其特征在于所述的氫氧化鈉為固體粉末。
4.一種單晶硅片制絨液的制備方法,其特征在于包括如下步驟:
(1)將重量百分含量為0.5-3%的NaOH和10-15%的IPA溶于去離子水中,得到堿性制絨液;
(2)將權利要求1所述的添加劑加入步驟(1)的堿性制絨液中,得到制絨液,其中添加劑與制絨液的重量比為1-3:100。
5.根據權利要求4所述的用于單晶硅片制絨液的制備方法,其特征在于所述步驟(1)中NaOH的重量百分比為2.5%,IPA的重量百分比為12%。
6.一種單晶硅片制絨方法,其特征在于,將權利要求1或2中的添加劑加入堿性制絨液中,然后將單晶硅片浸泡在含有添加劑的制絨液中進行表面構化,反應溫度為78-82℃,反應時間為800-1200s。
7.根據權利要求6所述的制絨方法,其中所述添加劑與制絨液的重量比為1-3:100。
8.根據權利要求7所述的制絨方法,其特征在于所述堿性制絨液通過將重量百分含量為0.5-3%的NaOH和10-15%的IPA溶于去離子水制成。
9.根據權利要求7的制絨方法,其特征在于所述堿性制絨液通過將重量百分含量為2.5%的NaOH和12%的IPA溶于去離子水中制成。
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