[發(fā)明專利]一種CUP自動(dòng)清洗系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210454645.3
• 申請(qǐng)日: 2012-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN103801527A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉正偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/00
• 分類號(hào): B08B3/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片加工過程中勻膠機(jī)的CUP清洗設(shè)備，具體地說是一種CUP自動(dòng)清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體晶片加工過程中需要用勻膠機(jī)對(duì)晶片進(jìn)行光刻膠的涂覆，以便晶片完成光刻工藝。目前的勻膠機(jī)多采用人工方式進(jìn)行CUP（光刻膠收集杯）清洗，人為清洗時(shí)容易清洗不徹底，而且效率低，同時(shí)影響產(chǎn)能。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決人工清洗CUP存在的清洗不徹底、效率低的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種CUP自動(dòng)清洗系統(tǒng)。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：

一種CUP自動(dòng)清洗系統(tǒng)，被加工的晶片放置在真空吸盤上，該真空吸盤通過主軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)晶片共同旋轉(zhuǎn)；所述自動(dòng)清洗系統(tǒng)包括外罩、防濺蓋、微型接頭、調(diào)壓閥、清洗液罐、藥液閥及回吸閥，其中外罩罩在所述晶片的外圍，在外罩的頂部安裝有防濺蓋；所述微型接頭安裝在防濺蓋的頂部，清洗液罐通過管路與該微型接頭相連通，并在清洗液罐與微型接頭之間的管路上設(shè)有藥液閥及回吸閥，所述調(diào)壓閥通過管路與清洗液罐連通；所述清洗液罐中的清洗液通過經(jīng)調(diào)壓閥調(diào)壓的氣體壓出，依次經(jīng)過藥液閥、回吸閥、微型接頭進(jìn)入到防濺蓋與外罩圍成的腔體內(nèi)，對(duì)防濺蓋及外罩的內(nèi)壁進(jìn)行清洗。

其中：所述防濺蓋的頂部開有環(huán)形的溝槽，微型接頭安裝在該溝槽內(nèi)；所述防濺蓋上開有通孔，該通孔分別連通于溝槽與防濺蓋的內(nèi)壁；所述防濺蓋的頂部設(shè)有與防濺蓋密封連接的壓板，微型接頭穿過該壓板、安裝在所述溝槽內(nèi)；所述防濺蓋的頂部、位于溝槽的內(nèi)外兩側(cè)分別設(shè)有O型密封圈，壓板通過O型密封圈與防濺蓋密封連接；所述防濺蓋為中空的錐臺(tái)狀，與溝槽連通內(nèi)壁為斜面；所述微型接頭至少為一組，每組有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的微型接頭，每組中的兩個(gè)微型接頭之間的連線經(jīng)過所述晶片的圓心，并且每個(gè)微型接頭分別通過管路與清洗液罐相連通；所述外罩、防濺蓋及晶片同心設(shè)置。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為：

1．本發(fā)明將清洗液罐中的清洗液通過氣體經(jīng)過藥液閥、回吸閥壓至防濺蓋與外罩的內(nèi)壁，對(duì)防濺蓋與外罩的內(nèi)壁進(jìn)行清洗，解決了人工清洗CUP所產(chǎn)生的清洗不徹底、效率低、影響產(chǎn)能等問題。

2．本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單可靠，成本低。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖；

圖2為圖1中I處的局部放大圖；

圖3為圖1的俯視圖；

圖4為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖；

其中：1為外罩，2為排風(fēng)罩，3為防濺蓋，4為O型密封圈，5為壓板，6為微型接頭，7為主軸電機(jī)，8為晶片，9為真空吸盤，10為通孔，11為調(diào)壓閥，12為清洗液罐，13為藥液閥，14為回吸閥，15為溝槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。

如圖1～4所示，被加工的晶片8放置在真空吸盤9上，該真空吸盤9通過主軸電機(jī)7驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)晶片8共同旋轉(zhuǎn)，晶片8由真空吸盤9吸附，并在真空吸盤9的外部設(shè)有安裝在外罩1上的排風(fēng)罩2。

本發(fā)明包括外罩1、防濺蓋3、壓板5、微型接頭6、調(diào)壓閥11、清洗液罐12、藥液閥13及回吸閥14，其中外罩1罩在晶片8的外圍，呈圓筒狀，頂部為開放端。在外罩1頂部的開放端安裝有防濺蓋3，防濺蓋3為中空的錐臺(tái)狀，頂部開有供晶片8升降的圓孔，防濺蓋3的內(nèi)壁為斜面；在防濺蓋3的頂部開有環(huán)形的溝槽15，并在該溝槽15的內(nèi)外兩側(cè)分別設(shè)有O型密封圈4，壓板5通過螺釘與防濺蓋3固定并壓緊O型密封圈4，通過O型密封圈4與防濺蓋3密封連接。微型接頭6穿過壓板5、安裝在溝槽15內(nèi)，微型接頭6至少為一組，每組有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的微型接頭；本實(shí)施例設(shè)置了一組兩個(gè)微型接頭6，兩個(gè)微型接頭之間的連線經(jīng)過晶片8的圓心，并且清洗液罐12通過管路分別與每個(gè)微型接頭相連通，在清洗液罐12與微型接頭6之間的管路上設(shè)有藥液閥13及回吸閥14，調(diào)壓閥11通過管路與清洗液罐12連通。防濺蓋3上開有通孔10，該通孔10的一端與溝槽15連通，另一端與防濺蓋3的內(nèi)壁連通。外罩1、防濺蓋3及晶片8同心設(shè)置。

本發(fā)明的工作原理為：

如圖4所示，氣體（本實(shí)施例為氮?dú)猓┙?jīng)過調(diào)壓閥11調(diào)壓，進(jìn)入到清洗液罐12，清洗液罐12中的清洗液在氮?dú)獾淖饔孟聣撼觯?jīng)過藥液閥13、回吸閥14、微型接頭6進(jìn)入到防濺蓋3的溝槽15中，再經(jīng)過防濺蓋3側(cè)壁上的通孔10流到防濺蓋3的內(nèi)壁上，沿著防濺蓋3的內(nèi)壁向下流到外罩1的內(nèi)壁上，對(duì)殘留在防濺蓋3與外罩1內(nèi)壁上的膠液進(jìn)行清洗。