[發明專利]一種去除殘留光刻膠的方法無效
| 申請號： | 201210452177.6 | 申請日： | 2012-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN103809395A | 公開（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發明（設計）人： | 孫慶東 | 申請（專利權）人： | 孫慶東 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264000 *** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 去除 殘留 光刻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種去除殘留光刻膠的方法，其特征在于，所述方法步驟如下：
（1）配備清洗液：取濃硫酸和雙氧水以1:5的比例混合；
（2）將配備出的清洗液放入自動冷卻裝置中，打開機械臂開關及循環水開關，使清洗液迅速降溫至室溫，關上開關；
（3）將待清洗的芯片放至清洗液中，浸泡5分鐘；
（4）將清洗完的芯片放入烘干機內烘干。
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