[發明專利]配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備

無效

• 申請號: 201210451858.0
• 申請日: 2012-11-12
• 公開（公告）號: CN102899707A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 任存生;張旭昇;張傳民;文靜;蘇亞青;金見安
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: C25D19/00
• 分類號: C25D19/00;C25D21/16
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

1.一種配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于包括：電鍍液池、電鍍液收集池、進液選擇開關、電鍍液分析單元、控制單元以及過濾裝置；其中，進液選擇開關通過輸液管路連接至電鍍液池；電鍍液池通過排廢管路連接至電鍍液分析單元；其中，過濾裝置布置在電鍍液分析單元和電鍍液池之間；電鍍液分析單元通過廢液收集管路連接至電鍍液收集池；控制單元分別連接至進液選擇開關、電鍍液分析單元、以及電鍍液收集池。

2.根據權利要求1所述的配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于，從電鍍液池排除的電鍍液經由排廢管路排除并被過濾裝置過濾，此后，電鍍液分析單元對過濾裝置過濾后的電鍍液進行分析，當判斷過濾后的電鍍液可用，則將過濾后的電鍍液通過廢液收集管路注入電鍍液收集池。

3.根據權利要求1或2所述的配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于，當電鍍液收集池中保存有電鍍液時，電鍍液收集池向控制單元發送通知信息。

4.根據權利要求3所述的配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于，在需要向電鍍液池注入電鍍液時，控制單元根據是否從電鍍液收集池接收到通知信息來向進液選擇開關發送第一開關信號或第二開關信號，其中第一開關信號使得進液選擇開關選擇開啟電鍍液收集池與進液選擇開關之間的循環通路，而第二開關信號使得進液選擇開關選擇不開啟電鍍液收集池與進液選擇開關之間的循環通路。

5.根據權利要求1或2所述的配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于，電鍍液分析單元向控制單元發送廢液收集信號或廢液排除信號，從而通過控制單元控制廢液的流向。

6.根據權利要求1或2所述的配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于，過濾裝置布置在排廢管路中。

7.根據權利要求1或2所述的配置有電鍍液回收使用裝置的電鍍設備，其特征在于，過濾裝置用于去除電鍍液中的添加劑和/或雜質。