[發(fā)明專(zhuān)利]一種全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210451670.6
• 申請(qǐng)日: 2012-11-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102931433A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘小亮;王廣欣;王樹(shù)森
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州晶純新材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01M10/0562
• 分類(lèi)號(hào): H01M10/0562;C23C14/06;C23C14/35
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 汪青

1.一種全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜的制備方法，所述電解質(zhì)薄膜為氮化磷酸鋰薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸鋰薄膜為非晶無(wú)定形態(tài)，所述制備方法采用射頻磁控濺射方法，具體包括依次進(jìn)行的如下步驟：

①、以相對(duì)密度大于等于99%、純度大于99.9%的Li₃PO₄作為靶材，安裝好靶材和基片后，關(guān)閉濺射室，將濺射室抽真空至1.0×10^-4Pa或以下，充入1個(gè)大氣壓的氦氣與氫氣的混合氣體，混合氣體中，氦氣與氫氣的體積比為0.2~1:1，再將室內(nèi)氣體壓強(qiáng)抽至0.1~3Pa；

②、預(yù)濺射，以清理靶材表面的氧化層和雜質(zhì)；

③、設(shè)定濺射功率范圍為1W/cm²~6W/cm²，靶基距離為40mm~100mm，濺射時(shí)間為2~10小時(shí)，形成非晶無(wú)定形態(tài)的氮化磷酸鋰薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜的制備方法，其特征在于：作為靶材的Li₃PO₄的厚度為4~8mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜的制備方法，其特征在于：步驟?①中，所述混合氣體中，氦氣與氫氣的體積比為0.2~0.5:1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜的制備方法，其特征在于：步驟③中，設(shè)定濺射功率為2?W/cm²~5W/cm²，濺射時(shí)間為2~6小時(shí)。

5.一種如權(quán)利要求1至4所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜的制備方法制備所得全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜，其特征在于：所述電解質(zhì)薄膜為非晶無(wú)定形態(tài)的氮化磷酸鋰薄膜，其離子電導(dǎo)率大于2*10^-6S/cm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸鋰薄膜的厚度為5~500nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸鋰薄膜的厚度為50~500nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用電解質(zhì)薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸鋰薄膜的厚度為50~200nm。