[發(fā)明專利]真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210451613.8
• 申請日: 2012-11-13
• 公開（公告）號: CN103807119A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧狄克;焦斌斌;李志剛;尚海平;孔延梅
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山光微電子有限公司
• 主分類號: F03G1/02
• 分類號: F03G1/02
• 代理公司: 昆山四方專利事務(wù)所 32212
• 代理人: 盛建德

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，涉及一種用于有毒、有害、有腐蝕性氣體密閉腔體內(nèi)部可自旋轉(zhuǎn)的裝置，具體的說是一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置。?

背景技術(shù)

真空腔體中一般都需要配置旋轉(zhuǎn)裝置，尤其是在半導(dǎo)體、微電子真空設(shè)備中，就要兼顧工藝中對均勻性和真空腔體的密閉性的高要求，現(xiàn)有設(shè)備的旋轉(zhuǎn)裝置都是由轉(zhuǎn)動電機帶動傳動軸方式給真空腔體內(nèi)部提供旋轉(zhuǎn)動力源。此種方法對轉(zhuǎn)動軸和真空腔體之間的轉(zhuǎn)動密封要求很高，既要轉(zhuǎn)動順暢又要保證轉(zhuǎn)動時的密封性，而且要防止長時間的轉(zhuǎn)動后密封處的防磨損。?

用電機帶動轉(zhuǎn)動軸的傳動裝置中密封的方法一般有兩種：??

①密封圈（O-ring）密封：在轉(zhuǎn)動軸與真空腔體銜接處上加入密封圈。優(yōu)點是價格便宜，維修、更換簡單。但密封圈易磨損、密封性差、穩(wěn)定性差、防腐蝕性差，多用于真空度要求不高的設(shè)備。?

②磁流體密封：磁流體密封技術(shù)是在磁性流體的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的，當(dāng)磁流體注入磁場的間隙時，它可以充滿整個間隙，形成一種“液體的O型密封圈”。磁流體密封裝置的功能是把旋轉(zhuǎn)運動傳遞到密封容器內(nèi)，常用于真空密封。優(yōu)點是密封效果好、穩(wěn)定、多由于真空度要求高的設(shè)備。但磁流體密封裝置?價格昂貴，結(jié)構(gòu)復(fù)雜且更換安裝繁瑣。??

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，其不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且能滿足轉(zhuǎn)動順暢和轉(zhuǎn)動時的氣密性要求。?

本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置，包括旋轉(zhuǎn)托盤、殼體和設(shè)于所述殼體內(nèi)的螺旋狀發(fā)條、內(nèi)外斜齒齒輪、定向旋轉(zhuǎn)叉和轉(zhuǎn)動軸，所述內(nèi)外斜齒齒輪為環(huán)形輪，該環(huán)形輪的內(nèi)側(cè)面沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個內(nèi)斜齒，該環(huán)形輪的外側(cè)面上沿其周向依次設(shè)有朝向同一方向的若干個外斜齒，且該環(huán)形輪的內(nèi)斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉(zhuǎn)動軸上端固定于所述旋轉(zhuǎn)托盤上，所述轉(zhuǎn)動軸下端依次穿過所述內(nèi)外斜齒齒輪、發(fā)條和外殼；所述定向旋轉(zhuǎn)叉包括若干個止檔部，該定向旋轉(zhuǎn)叉的中心固定于所述轉(zhuǎn)動軸上，該定向旋轉(zhuǎn)叉的若干個止檔部的末端分別抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的內(nèi)斜齒上使所述內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對該定向旋轉(zhuǎn)叉朝與所述內(nèi)斜齒傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝另一個相反的方向止轉(zhuǎn)；所述螺旋狀發(fā)條的內(nèi)端固定于所述轉(zhuǎn)動軸上，所述螺旋狀發(fā)條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內(nèi)側(cè)面上設(shè)有若干個棘爪，該若干個棘爪的末端抵靠所述內(nèi)外斜齒齒輪的外斜齒使該內(nèi)外斜齒齒輪僅能相對所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉(zhuǎn)而朝向另一個相反的方向止轉(zhuǎn)。?

作為本發(fā)明的進一步改進，在所述轉(zhuǎn)動軸上還固設(shè)一置物?托盤，該置物托盤位于所述定向旋轉(zhuǎn)叉和旋轉(zhuǎn)托盤之間。?

作為本發(fā)明的進一步改進，所述定向旋轉(zhuǎn)叉上的止檔部為三個，且該三個止檔部均布于該定向旋轉(zhuǎn)叉上。?

作為本發(fā)明的進一步改進，所述殼體呈一端開口的圓柱形。?

作為本發(fā)明的進一步改進，所述棘爪為三個，該三個棘爪均布于所述殼體的內(nèi)側(cè)面上。?

本發(fā)明還提供一種如上所述的真空腔體用自旋轉(zhuǎn)裝置帶動物體旋轉(zhuǎn)的方法。?

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過用發(fā)條自旋轉(zhuǎn)裝置來代替電機轉(zhuǎn)動軸的旋轉(zhuǎn)方式，解決轉(zhuǎn)動軸密封的問題。通過在真空腔體內(nèi)內(nèi)置一個自旋轉(zhuǎn)裝置來解決真空度要求極高和通入有毒、有害、有腐蝕性氣體的真空設(shè)備的電機轉(zhuǎn)軸帶動旋轉(zhuǎn)的密封問題。具有以下優(yōu)點：①為設(shè)備提供旋轉(zhuǎn)動力源，解決了旋轉(zhuǎn)的工藝問題。②取代了電機帶動轉(zhuǎn)軸給真空腔體內(nèi)提供動力源的傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)的方式，此種裝置的旋轉(zhuǎn)處密封的技術(shù)難題也仍刃而解。③解決了現(xiàn)有轉(zhuǎn)動方式引起的真空度下降問題。④減小了現(xiàn)有轉(zhuǎn)動方式在通入有毒、有害、有腐蝕性工藝氣體泄露的幾率。⑤節(jié)約成本，提高效率。?

附圖說明

圖1為本發(fā)明分解結(jié)構(gòu)示意圖。?

結(jié)合附圖，作以下說明：?

1——旋轉(zhuǎn)托盤????????????????2——殼體?

3——發(fā)條????????????????????4——內(nèi)外斜齒齒輪?

5——定向旋轉(zhuǎn)叉??????????????6——轉(zhuǎn)動軸?

41——內(nèi)斜齒?????????????????42——外斜齒?

51——止檔部?????????????????7——棘爪?

8——置物托盤?

具體實施方式

結(jié)合附圖，對本發(fā)明作詳細說明，但本發(fā)明的保護范圍不限于下述實施例，即但凡以本發(fā)明申請專利范圍及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明專利涵蓋范圍之內(nèi)。?