[發明專利]一種化學溶液的配制裝置

無效

• 申請號: 201210449981.9
• 申請日: 2012-11-12
• 公開（公告）號: CN102895906A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 朱海良
• 申請（專利權）人: 江蘇矽研半導體科技有限公司
• 主分類號: B01F13/10
• 分類號: B01F13/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種化學溶液的配制裝置，包括攪拌桶（2）、及設置在攪拌桶（2）上方的驅動電機（4），所述驅動電機（4）的驅動端（41）與攪拌機構（6）相連接，所述攪拌機構（6）延伸至所述攪拌桶（2）中，其特征在于：所述攪拌桶側壁（21）的底部設置有出液體口（22），頂部設置有進液體口（23），所述出液體口（22）和所述進液體口（23）通過輸液管（24）相連接，所述輸液管（24）上安裝有過濾裝置（25）及輸液泵（26）。

2.根據權利要求1所述的化學溶液的配制裝置，其特征在于：所述攪拌機構（6）包括與所述驅動端（41）傳動連接的旋轉軸（61），及安裝在所述旋轉軸（61）末端的葉片（62）。

3.根據權利要求1所述的化學溶液的配制裝置，其特征在于：所述攪拌桶（2）的底部設置有溶液排除管（27），該溶液排出管與所述攪拌桶（2）內部相通。