[發(fā)明專利]L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210449961.1
• 申請日: 2012-11-12
• 公開（公告）號: CN102937730A
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李九生
• 申請（專利權(quán)）人: 中國計量學(xué)院
• 主分類號: G02B6/126
• 分類號: G02B6/126
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于包括信號輸入端（1）、第一信號輸出端（2）、第二信號輸出端（3）、基板（4）、水平倒置L形縫隙（5）、矩形環(huán)縫隙（6）、圓環(huán)縫隙（7）、湯勺形縫隙（8）；基板（4）上設(shè)有水平倒置L形縫隙（5），水平倒置L形縫隙（5）包括順次相連的豎直短臂（9）、圓弧耦合縫隙（10）、水平長臂（11），水平倒置L形縫隙（5）的豎直短臂（9）的上端與信號輸入端（1）連接，水平倒置L形縫隙（5）的水平長臂（11）與第一信號輸出端（2）連接，水平倒置L形縫隙（5）的豎直短臂（9）的右側(cè)依次設(shè)有矩形環(huán)縫隙（6）、圓環(huán)縫隙（7）和湯勺形縫隙（8），湯勺形縫隙（8）包括順次相連的四分之三開口圓環(huán)（12）、四分之一圓弧段（13）和水平縫隙（14），水平縫隙（14）的右端與第二信號輸出端（3）連接；太赫茲波信號從信號輸入端（1）輸入，TE波經(jīng)過水平倒置L形縫隙（4），直接從第一信號輸出端（2）輸出；通過矩形環(huán)縫隙（5）、圓環(huán)縫隙（6）的耦合作用，TM波經(jīng)湯勺形縫隙（8），從第二信號輸出端（3）輸出，實現(xiàn)偏振分束的功能。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的基板（4）的材料為硅，基板（4）的長度為1500μm~1800μm，寬度為600μm~700μm，高度為300μm~400μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的縫隙的寬度均為50μm~60μm，縫隙的深度均為100μm~150μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的水平倒置L形縫隙（5）的豎直短臂（9）的長度為350μm~400μm，圓弧耦合縫隙（10）的外側(cè)圓弧半徑為150μm~180μm，水平長臂（11）的長度為1000μm~1200μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的矩形環(huán)縫隙（6）的外環(huán)長度為280μm~300μm，外環(huán)寬度為240μm~260μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的圓環(huán)縫隙（7）和四分之三開口圓環(huán)（12）的外環(huán)半徑均為120μm~130μm；所述的四分之一圓弧段（13）的圓弧半徑為120μm~130μm；所述的水平縫隙（14）的長度為300μm~350μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的豎直短臂（9）和水平長臂（11）分別與矩形環(huán)縫隙（6）、圓環(huán)縫隙（7）、湯勺形縫隙（8）之間的間隔距離相等，均為30μm~40μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種L形縫隙結(jié)構(gòu)的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的矩形環(huán)縫隙（6）、圓環(huán)縫隙（7）、湯勺形縫隙（8）之間的間隔距離相等，均為20μm~30μm。