[發明專利]具有減噪功能的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀

有效

• 申請號: 201210448596.2
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN102945786A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 唐飛;王曉浩;徐初隆
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01J49/26
• 分類號: H01J49/26;H01J49/06
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種具有減噪功能的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀，所述的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀包括離子源（2）、遷移區（3）和檢測單元（10）；在遷移區（3）內平行放置上基片（4）和下基片（5），在上基片（4）和下基片（5）上分別設置上遷移區電極（6）和下遷移區電極（7），上遷移區電極（6）分別與非對稱波形射頻電源（9）和直流掃描補償電源（8）相連；所述的檢測單元由電流檢測電極（12）和電流檢測偏轉電極（11）組成，電流檢測電極（12）放置在上基片（4）上，電流檢測偏轉電極（11）放置在下基片（5）上，其特征在于：在上遷移區電極（6）周圍設置一圈遷移區屏蔽電極（13），在電流檢測電極（12）周圍設置一圈電流檢測屏蔽電極（14）,兩圈屏蔽電極分別接地；上遷移區電極（6）和遷移區屏蔽電極（13）之間，以及電流檢測電極（12）和電流檢測屏蔽電極（14）之間以空氣或者絕緣材料進行絕緣。

2.按照權利要求1所述的一種具有減噪功能的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀，其特征在于：在下遷移區電極（7）加上一個直流電壓（15）。

3.按照權利要求1所述的一種具有減噪功能的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀，其特征在于：在遷移區（3）前端設置至少一個聚焦區（16），在每個聚焦區（16）的上基片（4）和下基片（5）上至少設置一副聚焦極板對，并上下正對，同時在每副聚焦極板對上施加電壓，施加的電壓有兩種模式，一種為直流聚焦模式，另一種為射頻聚焦模式；直流聚焦模式為在聚焦極板對上間隔施加相同的直流電壓；射頻聚焦模式為在每副聚焦極板對上施加正弦射頻電壓，相鄰聚焦極板對的正弦射頻電壓相位相差180°。

4.按照權利要求1、2或3所述的一種具有減噪功能的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀，其特征在于：所述的遷移區屏蔽電極（13）的形狀與上遷移區電極（6）的形狀相同或不同；所述的電流檢測屏蔽電極（14）的形狀與電流檢測電極（12）的形狀相同或不同。