[發明專利]太赫茲波段光子晶體制作方法

無效

• 申請號: 201210446050.3
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN103064146A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 張文濤;林賢;馬國宏;岳中岳;鐘敏建;戴曄
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: G02B6/13
• 分類號: G02B6/13
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

1.一種太赫茲波段光子晶體制作方法，其特征在于操作步驟為：1）按照需要設計光子晶體的結構，將其分解為多層結構的疊加，得到每層的結構及其尺寸；2）選取薄片狀介質材料作為光子晶體周期性介質材料，薄片狀介質材料的厚度與步驟1）得到的各層的厚度相同；3）按照各層的結構，使用飛秒微加工直寫技術對薄片狀介質材料進行加工；4）組裝帶有結構的薄片狀介質材料，得到一維、二維或三維的太赫茲波段光子晶體。

2.根據權利要求1所述的太赫茲波段光子晶體制作方法，其特征在于所述步驟2）選取的薄片狀介質材料采用對太赫茲波段電磁波無吸收或吸收率很低的介質材料。

3.根據權利要求2所述的太赫茲波段光子晶體制作方法，其特征在于所述對太赫茲波段電磁波無吸收或吸收率很低的介質材料為石英玻璃、或硅、或紙。