[發明專利]一種液體涂敷切邊裝置

有效

• 申請號: 201210445789.2
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN103811377A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 盧繼奎;谷德君
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種液體涂敷切邊裝置，其特征在于：包括底板（1）、處理罩（2）、處理腔（3）、環門（5）、切邊噴嘴、承片臺（9）、主軸電機（11）及處理杯（12），其中處理罩（2）安裝在底板（1）上，處理罩（2）內設有安裝在底板（1）上的主軸電機（11），主軸電機（11）的輸出端連接有承載晶片（10）的承片臺（9）；在處理罩（2）與承片臺（9）之間由外向內依次設有可升降的處理腔（3）及可升降的環門（5），所述處理腔（3）的上部表面安裝有可升降的切邊噴嘴，處理腔（3）的下部連接有隨處理腔（3）升降的處理杯（12），環門（5）位于處理腔（3）與處理杯（12）之間；所述處理腔（3）的腔臂上開有通過所述環門（5）升降控制開關的切口（13），晶片（10）經該切口（13）送入處理腔（3）內放在承片臺（9）上。

2.按權利要求1所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理腔（3）上表面分別開有噴嘴孔（16）及切邊孔（15），切邊噴嘴由切邊孔（15）穿入處理腔（3）內。

3.按權利要求2所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理腔（3）的上表面設有至少兩個距噴嘴孔間距不等的切邊噴嘴，每個切邊噴嘴均通過伸縮氣缸安裝在處理腔（3）的上表面、通過伸縮氣缸驅動升降，每個切邊噴嘴均對應一個切邊孔（15）。

4.按權利要求1所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理腔（3）通過安裝在底板（1）上的處理腔升降機構（4）驅動升降，在處理腔（3）的上表面安裝有環門升降氣缸（8），該環門升降氣缸（8）的活塞桿穿入處理腔（3）內，與環門（5）相連。

5.按權利要求1所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理罩（2）為圓環形，其底面及底板（1）上開有排廢口（14）。

6.按權利要求1所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理杯（12）的下部為圓環形、與處理腔（3）相連，處理杯（12）的上部為錐臺狀。

7.按權利要求1或6所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理腔（3）與處理杯（12）的連接處開有排廢孔。

8.按權利要求1所述的液體涂敷切邊裝置，其特征在于：所述處理罩（2）、處理腔（3）、環門（5）及處理杯（12）與晶片（10）同心設置。