[發明專利]陶瓷基板及其制造方法

有效

• 申請號: 201210443066.9
• 申請日: 2012-11-08
• 公開（公告）號: CN103260337A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 鈴木健司;大塚祐磨;奈須孝有
• 申請（專利權）人: 日本特殊陶業株式會社
• 主分類號: H05K1/02
• 分類號: H05K1/02;H05K3/46
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 戚傳江;謝麗娜

技術領域

本發明涉及一種在由陶瓷構成的基板主體的正面及反面分別形成的導體層的相對位置偏差較少、且具有較高位置精度地形成的具有上述導體層的陶瓷基板及其制造方法。

背景技術

為了減少多個陶瓷坯片（ceramic?green?sheet）的層間偏差、抑制各層間布線圖案的偏差造成的電氣性能的下降，提出了一種陶瓷多層布線基板的制造方法的方案（例如參照專利文獻1），該方案具有以下步驟：第1步驟，在作為最下層的陶瓷坯片上追加形成多個印刷定位讀取用的識別孔；第2步驟，以該識別孔為基準，通過圖像處理檢測印刷位置，在上述坯片的正面進行布線圖案的印刷；第3步驟，在上述坯片上，預先在和上述識別孔的位置對應的位置上，暫時粘合具有比該識別孔大的窗孔的作為次層的陶瓷坯片；第4步驟，經由上述窗孔，以上述識別孔為基準，通過圖像處理檢測印刷位置，在作為次層的上述坯片的正面進行布線圖案的印刷，進一步，重復上述第3步驟和第4步驟，在必要塊數的陶瓷坯片上進行布線圖案的印刷。

但是，根據上述陶瓷布線基板的制造方法，可以較高精度設定多個坯片間的布線圖案的印刷位置，但相反，層壓了多個陶瓷層的基板主體的正面和反面兩者的俯視中，在各預定位置分別高精度形成導體層明顯較難。

例如，在上述制造方法中，明顯難以在上述基板主體的正面和反面兩者的俯視相同的位置上高位置精度地形成導體層。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2001－339160號公報（第1~7頁、圖1~5）

發明內容

本發明的課題是提供一種陶瓷基板及可切實制造該基板的方法，解決在背景技術中說明的問題點，該陶瓷基板由陶瓷構成的基板主體的正面和反面的導體層之間的位置偏差少、即正反面的各導體層的圖案偏差少。

本發明想到以下情況而形成：相對于由陶瓷構成的基板主體的正面和反面，將大小不同的導體層分別形成在正面和反面時，以同一定位部為基準。

即，本發明的第1陶瓷基板（權利要求1）具有：基板主體，層壓多個陶瓷層而成，具有一對主面；第1導體層，形成在上述一對主面中的一個主面上；第2導體層，形成在上述一對主面中的另一個主面上，且和上述第1導體層相比，俯視的直徑或最短長度較小；導體柱，連接到上述第1導體層及第2導體層中的至少一個，形成在上述基板主體的內部；多個定位部，形成在上述基板主體的俯視中的周邊部，其特征在于，上述定位部分別貫通上述各陶瓷層，由截面積不同的第1貫通孔及第2貫通孔沿著軸方向連接形成的貫通孔構成，貫通具有形成了上述第2導體層的主面的陶瓷層的第2貫通孔的從上述主面一側觀察時的該第2貫通孔的截面積，小于貫通具有形成了上述第1導體層的主面的陶瓷層的第1貫通孔的截面積，并且，從具有形成了上述第1導體層的主面的陶瓷層的該主面一側，能夠俯視觀察到貫通具有形成了上述第2導體層的主面的陶瓷層的第2貫通孔的內周面的至少一部分。

這樣一來，分別位于上述基板主體中的一對主面且分別和上述導體柱連接的第1導體層及第2導體層，以從形成了所述第2導體層的陶瓷層的主面一側經由第1貫通孔或者直接能夠觀察的多個定位的第2貫通孔中的內周面的中心或重心、或由該內周面的至少一部分確定的中心或重心為基準而形成。因此，即使由多個陶瓷層構成、在它們之間若干層壓偏差包含在基板主體中，該基板主體中的一對主面（正反面）上分別形成的第1導體層和第2導體層的位置偏差也變少。即，第1導體層及第2導體層的位置精度分別提高。進一步，該陶瓷基板也可穩定地獲得與形成在上述基板主體內部且端部露出到主面的導體柱的導通、與位于基板主體的陶瓷層間的內部導體層的導通。

此外，上述陶瓷基板除了安裝多個外，也包括安裝一個的方式。

并且，上述基板主體除了由分別具有一對主面的至少兩層陶瓷層構成的方式外，也包括在作為最外層的一對陶瓷層間進一步夾持單數或多個陶瓷層的方式。上述一對主面是指基板主體的正面及反面的任意一個的相對性稱呼。

并且，上述基板主體的周邊包括：各陶瓷布線基板的周邊、或包圍多個陶瓷布線基板縱橫鄰接的產品區域的周圍的多個安裝用的陶瓷基板的邊緣部。

進一步，俯視的最短長度彼此不同的上述第1導體層和第2導體層例如在俯視矩形（正方形及長方形）的方式中，通過正方形的一邊或長方形的短邊的長度差來區分。

并且，上述陶瓷例如包括氧化鋁、莫來石、氮化鋁等高溫燒制陶瓷，或者作為低溫燒制陶瓷的一種的玻璃陶瓷。

進一步，上述導體柱例如包括孔導體、通孔導體。