[發(fā)明專利]一種利用激光遠(yuǎn)程激發(fā)微米尺度的微懸臂梁探針共振的方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210441902.X | 申請(qǐng)日： | 2012-11-07 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102944615A | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-02-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉鐸;馮兆斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 山東大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01N30/00 | 分類號(hào)： | G01N30/00;G01N21/00 |
| 代理公司： | 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37219 | 代理人： | 呂利敏 |
| 地址： | 250100 山*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 激光 遠(yuǎn)程 激發(fā) 微米 尺度 懸臂梁 探針 共振 方法 | ||
1.一種利用激光遠(yuǎn)程激發(fā)微米尺度的微懸臂梁探針共振的方法，其特征在于，該方法是用周斯性脈沖激光聚焦于微懸臂梁探針表面，所述脈沖激光的頻率為微懸臂梁共振頻率的1/n，其中n為1~10。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用激光遠(yuǎn)程激發(fā)微米尺度的微懸臂梁探針共振的方法，其特征在于，所述微米尺度的微懸臂梁探針的尺寸范圍：長(zhǎng)，100－500μm；寬，10－50μm；厚，1－2μm；所述脈沖激光的波長(zhǎng)范圍：405－650nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用激光遠(yuǎn)程激發(fā)微米尺度的微懸臂梁探針共振的方法，其特征在于，所述微米尺度的微懸臂梁探針的長(zhǎng)，100μm；寬，10μm；厚，1μm，所述脈沖激光的波長(zhǎng)為：405nm，所述脈沖激光的頻率為所述微懸臂梁探針共振頻率的1/7。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用激光遠(yuǎn)程激發(fā)微米尺度的微懸臂梁探針共振的方法，其特征在于，所述微米尺度的微懸臂梁探針的長(zhǎng)，300μm；寬，35μm；厚，1μm，所述脈沖激光的波長(zhǎng)為：532nm，所述脈沖激光的頻率為所述微懸臂梁探針共振頻率的1/5。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用激光遠(yuǎn)程激發(fā)微米尺度的微懸臂梁探針共振的方法，其特征在于，所述微米尺度的微懸臂梁探針的長(zhǎng)，500μm；寬，50μm；厚，2μm，所述脈沖激光的波長(zhǎng)為：650nm，所述脈沖激光的頻率為所述微懸臂梁探針共振頻率的1/3。
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