[發明專利]一種基于空間光調制器的干涉光刻系統和方法

無效

• 申請號: 201210440974.2
• 申請日: 2012-11-07
• 公開（公告）號: CN102967999A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 王笑冰;李建兵;張海明
• 申請（專利權）人: 深圳大學反光材料廠
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于空間光調制器的干涉光刻系統，其特征在于，所述系統按光束傳播方向依次包括：光源、擴束鏡、準直透鏡、空間光調制裝置、傅立葉變換透鏡、傅立葉變換譜面濾波擋板、成像鏡、光刻膠干板，所述空間光調制裝置包括空間光調制器和計算機，計算機與空間光調制器連接；

所述光源發出的照射光束經過擴束鏡成為發散光，發散光經過準直透鏡成為平行光，平行光入射空間光調制器，空間光調制器對平行光進行圖像信息調制，計算機控制空間光調制器顯示圖案，平行光通過空間光調制器上顯示的圖案進行衍射分光后成為衍射光，衍射光經過傅立葉變換透鏡后在傅立葉變換透鏡的后焦面上形成譜面圖樣，由傅立葉變換譜面濾波擋板控制所需級數的衍射光通過，通過傅立葉變換譜面濾波擋板的衍射光經過成像鏡干涉成像于光刻膠干板。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述圖案為條紋圖案，所述條紋圖案包含需要進行光刻的原始圖案和根據需要生成的光柵進行計算得到的條紋。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，通過計算機控制空間光調制器顯示的條紋圖案的條紋疏密以控制衍射光的衍射角度。

4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，通過計算機控制空間光調制器顯示的條紋圖案的條紋方向以控制衍射光的衍射方向。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述空間光調制器為液晶空間光調制器、投射式空間光調制器、反射式空間光調制器或數字微反射鏡。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述衍射光為多級衍射光，由傅立葉變換譜面濾波擋板控制正1級和負1級的衍射光通過。

7.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括光刻膠干板移動裝置，所述光刻膠干板設置于光刻膠干板移動裝置上，光刻時移動所述光刻膠干板移動裝置直至整個圖案都被曝光；

所述光源和光刻膠干板移動裝置分別與所述計算機連接，計算機分別控制光源的出光和不出光以及光刻膠干板移動裝置的移動。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述光源為激光器，所述照射光束為激光。

9.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述成像鏡為微縮成像透鏡、普通照相成像鏡頭或投影鏡頭。

10.一種基于空間光調制器的干涉光刻方法，其特征在于，所述方法包括：

發出照射光束；

照射光束經過擴束成為發散光；

發散光經過準直成為平行光；

控制空間光調制器顯示圖案，空間光調制器對入射的平行光進行圖像信息調制和衍射分光，得到衍射光；

對衍射光進行傅立葉變換和濾波，得到所需級數的衍射光；

所需級數的衍射光干涉成像。