[發(fā)明專利]一種同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210438752.7 | 申請日： | 2012-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN102975318A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 秦建華;馬靜云;姜雷;張旭 | 申請（專利權）人： | 中國科學院大連化學物理研究所 |
| 主分類號： | B29C39/02 | 分類號： | B29C39/02;B29C33/38;B01L3/00 |
| 代理公司： | 沈陽晨創(chuàng)科技專利代理有限責任公司 21001 | 代理人： | 張晨 |
| 地址： | 116023 *** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 同時 含有 方形 弧形 通道 pdms 芯片 制備 方法 | ||
1.一種同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：具體方法步驟如下：
（1）交聯(lián)態(tài)SU-8陽模的制備：通過標準光刻法制備含有微通道圖案的SU-8陽模；
（2）陰模PDMS的制備：將交聯(lián)態(tài)SU-8陽模與一定厚度的液態(tài)PDMS膜夾合，PDMS固化后，開啟后得到反轉(zhuǎn)有陽模圖案的陰模PDMS；
（3）未交聯(lián)態(tài)的SU-8陽模的制備：將陰模PDMS與150微米到300微米厚的固態(tài)未交聯(lián)SU-8光刻膠夾合，真空烘箱加熱使光刻膠呈流動態(tài)充滿PDMS通道，冷卻后開啟得到未交聯(lián)態(tài)的SU-8陽模；
（4）SU-8方形陽模的形成：對步驟（3）得到的未交聯(lián)態(tài)的SU-8陽模選擇性曝光，使其局部交聯(lián)得到方形突起部分；
（5）SU-8弧形陽模的形成：將部分未交聯(lián)態(tài)的SU-8陽模加熱一定時間，得到弧形的模板形狀；經(jīng)曝光交聯(lián)反應、后烘、堅模得到定型的SU-8弧形陽模；
（6）將步驟（4）和（5）共同得到的同時含有方形、弧形陽模的SU-8模板澆筑以PDMS、固化、脫模、封接，得到含有方形、弧形通道的PDMS芯片。
2.按照權利要求1所述同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）中標準光刻法制備的交聯(lián)態(tài)SU-8陽模所含微突起為直角方形。
3.按照權利要求1所述同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：所述步驟（2）中，液態(tài)PDMS膜的厚度為100微米到150微米。
4.按照權利要求1所述同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）中，固態(tài)未交聯(lián)SU-8光刻膠的厚度為150微米。
5.按照權利要求1所述同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：所述步驟（3）中，加熱溫度為80℃到100℃。
6.按照權利要求1所述同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：所述步驟（5）中，加熱時間為5分鐘到30分鐘。
7.按照權利要求1所述同時含有方形、弧形通道PDMS芯片的制備方法，其特征在于：所述步驟（5）中，加熱溫度為40℃到60℃。
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