[發(fā)明專利]一種用于正壓晶體生長爐的操作及觀察窗口

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210438699.0
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN102925962A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;歐陽鵬根;石剛;陳明杰;王丹濤;邱敏秀;蔣慶良
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于正壓晶體生長爐的操作及觀察窗口，包括窗口玻璃，其特征在于，所述操作及觀察窗口還包括爐室法蘭、壓板、墊片、觀察窗口座和操作窗口座；所述壓板包括中層玻璃壓板和外層玻璃壓板，窗口玻璃包括內(nèi)層玻璃、中層玻璃和外層玻璃；所述外層玻璃固定在中層玻璃壓板和外層玻璃壓板之間，中層玻璃固定在觀察窗口座和中層玻璃壓板之間，內(nèi)層玻璃固定在觀察窗口座上，觀察窗口座固定在操作窗口座中間，操作窗口座與爐室法蘭連接；窗口玻璃與觀察窗口座、壓板之間，以及窗口玻璃之間設有墊片；在操作窗口座內(nèi)設有循環(huán)水道，外表面上設有操作窗口進水口和操作窗口出水口；中層玻璃壓板上設有觀察窗口進水口和觀察窗口出水口；爐室法蘭固定在爐體上。

2.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述觀察窗口進水口位于中層玻璃壓板的下方，觀察窗口出水口位于中層玻璃壓板的上方。

3.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述的墊片有5塊：內(nèi)層玻璃與觀察窗口座之間的墊片為全氟橡膠墊片，內(nèi)層玻璃與中層玻璃、中層玻璃與中層玻璃壓板、中層玻璃壓板與外層玻璃、外層玻璃與外層玻璃壓板之間的墊片為聚四氟乙烯墊片。

4.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述中層玻璃壓板通過螺釘固定在觀察窗口座上，外層玻璃壓板通過螺釘固定在中層玻璃壓板上。

5.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述操作窗口座與爐室法蘭通過鉸鏈連接；操作窗口座與爐室法蘭的貼合平面上至少各有2個對應孔位，能通過固定螺釘固定操作窗口座與爐室法蘭。

6.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述內(nèi)層玻璃是厚度不少于35mm的硼硅酸或者鋁硅酸玻璃。

7.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述中層玻璃和外層玻璃是厚度不少于5mm的石英玻璃。

8.根據(jù)權利要求1所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述操作窗口座是中間設有沉肩的不銹鋼材質(zhì)的圓盤，厚度不少于30mm。

9.根據(jù)權利要求8所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述沉肩的直徑不小于200mm，深度大于內(nèi)層玻璃的厚度。

10.根據(jù)權利要求1至9任意一項所述的操作及觀察窗口，其特征在于，所述操作窗口座內(nèi)表面設有至少一個燕尾槽型的O型圈槽和0型圈。