[發明專利]測試電路和包括測試電路的半導體裝置

有效

• 申請號: 201210435156.3
• 申請日: 2012-11-05
• 公開（公告）號: CN103367327B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 李東郁;金榮柱
• 申請（專利權）人: 愛思開海力士有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;G01R31/28
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙)11363
• 代理人: 周曉雨,俞波

1.一種測試電路，包括：

穿通通孔測試單元，所述穿通通孔測試單元被配置成響應于第一測試控制信號而被設定成第一電阻值以及響應于所述第一測試控制信號和第二測試控制信號而被設定成第二電阻值，并且形成包括將第一芯片和第二芯片電連接的穿通通孔的電流路徑；

測試測量單元，所述測試測量單元被配置成將測試電壓提供給所述穿通通孔，并且測量流經所述穿通通孔的電流量；以及

測試控制單元，所述測試控制單元被配置成在雙測試信號禁止而測試使能信號使能時將所述第一測試控制信號使能，以及在所述測試使能信號和所述雙測試信號兩者都使能時將所述第一測試控制信號和所述第二測試控制信號使能。

2.如權利要求1所述的測試電路，其中，所述穿通通孔測試單元包括：

第一測試部，所述第一測試部被配置成響應于所述第一測試控制信號而具有所述第一電阻值，并且連同所述穿通通孔形成電流路徑；以及

第二測試部，所述第二測試部被配置成響應于所述第二測試控制信號而連同所述第一測試部具有所述第二電阻值，并且連同所述穿通通孔形成電流路徑。

3.如權利要求2所述的測試電路，其中，所述第一測試部包括：

第一選擇部分，所述第一選擇部分被配置成響應于所述第一測試控制信號而將所述測試電壓施加給所述穿通通孔的一端；以及

第一驅動器部分，所述第一驅動器部分被配置成響應于所述第一測試控制信號而將所述穿通通孔的另一端和接地電壓端子連接。

4.如權利要求3所述的測試電路，其中，所述第二測試部包括：

第二選擇部分，所述第二選擇部分被配置成響應于所述第二測試控制信號而將所述測試電壓施加給所述穿通通孔的一端；以及

第二驅動器部分，所述第二驅動器部分被配置成響應于所述第二測試控制信號而將所述穿通通孔的另一端和所述接地電壓端子連接。

5.一種測試電路，包括：

第一選擇部分，所述第一選擇部分被配置成響應于第一測試控制信號而將測試電壓施加給電連接第一芯片和第二芯片的穿通通孔；

第二選擇部分，所述第二選擇部分被配置成響應于第二測試控制信號而將所述測試電壓施加給所述穿通通孔；

第一驅動器部分，所述第一驅動器部分被配置成響應于所述第一測試控制信號而將所述穿通通孔驅動至接地電位；

第二驅動器部分，所述第二驅動器部分被配置成響應于所述第二測試控制信號而將所述穿通通孔驅動至所述接地電位；以及

測試控制單元，所述測試控制單元被配置成響應于測試使能信號和雙測試信號來產生所述第一測試控制信號和所述第二測試控制信號。

6.如權利要求5所述的測試電路，其中，所述第一選擇部分和所述第二選擇部分在分別響應于所述第一測試控制信號和所述第二測試控制信號而導通時具有相同的電阻值。

7.如權利要求5所述的測試電路，其中，所述第一驅動器部分和所述第二驅動器部分在分別響應于所述第一測試控制信號和所述第二測試控制信號而導通時具有相同的電阻值。

8.如權利要求5所述的測試電路，

其中，所述測試控制單元產生所述第一測試控制信號，然后一起產生所述第一測試控制信號和所述第二測試控制信號。

9.如權利要求8所述的測試電路，還包括：

測試測量單元，所述測試測量單元被配置成在所述第一測試控制信號的脈沖或所述第二測試控制信號的脈沖產生時測量流經所述穿通通孔的電流量。