[發明專利]一種用于泡生法生長大尺寸藍寶石晶體全過程中的冷卻方法

無效

• 申請號: 201210435000.5
• 申請日: 2012-11-05
• 公開（公告）號: CN103290472A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 范世煒;許友生;丁革建;曾錫強
• 申請（專利權）人: 浙江東海藍玉光電科技有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.?一種用于泡生法生長大尺寸藍寶石晶體全過程的冷卻方法，泡生法包括準備原料、爐體抽真空、爐體加熱、熔接晶體、晶頸生長、晶體生長、分離、退火、取晶，其特征在于，所述冷卻方法應用于晶頸生長與退火，應用于晶頸生長的冷卻方法為，晶種直徑縮小至4-8mm時，以0.5-5℃/h的速度降溫；當晶種上結晶的質量達到0.1-0.2kg時，以1-10℃/h的速率降溫；當晶種上結晶的質量達到0.4-0.8kg時，以2-15℃/h的速率降溫；當晶種上結晶的質量達到1.5-1.9kg時，以1-10℃/h的速率降溫；應用于退火的冷卻方法為，退火開始時，以180-220℃/h的速率降溫，降溫至1400℃；然后以30-40℃的速率降溫，降溫至1000℃；然后以80-120℃/h的速率降溫，同時減小加熱電壓，直至加熱電壓為零；然后通入惰性氣體，降溫至40℃。

2.根據權利要求1所述的一種用于泡生法生長大尺寸藍寶石晶體全過程的冷卻方法，其特征在于，在晶頸生長時，晶種直徑縮小至4-8mm，冷卻的同時以0.05-1mm/h的速度向上提拉晶種桿并伴有0.1-2rpm的速度旋轉；當晶種上結晶的質量達到0.1-0.2kg，冷卻的同時以0.5-2mm/h的速度向上提拉晶種桿；當晶種上結晶的質量達到0.4-0.8kg，冷卻的同時以0.15-3mm/h的速度向上提拉晶種桿；當晶種上結晶的質量達到1.5-1.9kg，冷卻的同時以0.25-4mm/h的速度向上提拉晶種桿。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于泡生法生長大尺寸藍寶石晶體全過程的冷卻方法，其特征在于，通入惰性氣體直到爐內氣壓為8×10⁴-1×10⁵pa，40℃下保溫5-8h。

4.根據權利要求1所述的一種用于泡生法生長大尺寸藍寶石晶體全過程的冷卻方法，其特征在于，惰性氣體為氬氣。

5.根據權利要求1或2或4所述的一種用于泡生法生長大尺寸藍寶石晶體全過程的冷卻方法，其特征在于，在冷卻過程中所用的冷卻水為軟水。