[發明專利]涂布裝置

無效

• 申請號: 201210434598.6
• 申請日: 2012-11-05
• 公開（公告）號: CN103128034A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 濱川健史;森俊裕
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C13/02;B05C11/10
• 代理公司: 北京天悅專利代理事務所(普通合伙) 11311
• 代理人: 吳京順;田明

1.一種涂布裝置，包括：

基板輸送路徑，向一個方向延伸；

基板輸送部，在所述基板輸送路徑上以面對基板的狀態將基板沿著所述基板輸送路徑延伸的方向輸送；

涂布單元，其中，排出涂布液的管頭部以能夠裝卸的方式被支撐，且所述管頭部以與所述基板輸送路徑相對而置的狀態被固定設置；

并且，通過所述基板輸送部，一邊將所述基板輸送路徑上的基板相對于所述涂布單元移動，一邊從所述管頭部排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，其特征在于，該裝置還包括：

管頭移載單元，該管頭移載單元用于載置所述管頭部，并能夠向與安裝在涂布單元的管頭部相對而置的管頭接收位置和更換所述管頭部的管頭更換位置移動；

其中，所述基板輸送路徑包括作業空間形成部，通過該作業空間形成部形成去除一部分基板輸送路徑的用于更換所述管頭部的作業空間，所述管頭更換位置設定在所述作業空間形成部中能夠進行管頭部的更換作業的范圍內。

2.根據權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述基板輸送路徑包括與所述涂布單元相對而置的主輸送路徑，所述作業空間形成部設置在除了該主輸送路徑和當結束對基板的涂布作業時基板所占用的涂布結束區域之外的區域上。

3.根據權利要求1或2所述的涂布裝置，其特征在于，所述作業空間形成部設置在除了開始對基板進行涂布作業時基板所占用的涂布開始區域和所述涂布結束區域之外的區域上。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的涂布裝置，其特征在于，所述作業空間形成部的作業空間是通過所述基板輸送路徑的一部分被折疊而形成。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的涂布裝置，其特征在于，所述管頭更換位置設定在所述作業空間形成部上。