[發(fā)明專利]磁性傳感器裝置和用于制造磁性傳感器裝置的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210434572.1
• 申請日: 2012-11-02
• 公開（公告）號: CN103090891A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設計）人: 克勞斯·埃里安;托馬斯·米勒
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術領域

本發(fā)明涉及一種磁性傳感器裝置和用于制造磁性傳感器裝置的方法。

背景技術

磁性傳感器裝置能夠檢測磁性金屬件的運動，并能夠（例如）被構造成用于測量磁性齒輪的速度。這種磁性速度傳感器一般包括具有多個磁性傳感器元件的集成電路，所述磁性傳感器元件例如，霍爾傳感器元件或磁阻傳感器（XMR傳感器）（例如，AMR（各向異性磁阻）傳感器或巨磁阻（GMR）傳感器）。永磁體對傳感器元件提供偏置磁場。齒輪轉(zhuǎn)動時，齒輪的齒在傳感器前方經(jīng)過，并產(chǎn)生小的磁場變動，該磁場變動由傳感器檢測并由集成電路處理。檢測到的磁場包含關于齒輪的角位置和轉(zhuǎn)速的信息。關于這種磁性傳感器裝置的制造，穩(wěn)定的需求是，減少或簡化制造步驟，特別是減少拾取-放置步驟或模制步驟。另一個穩(wěn)定需求與磁性傳感器裝置封裝的尺寸以及與永磁體的形狀的可變性有關，因為理想的是，給永磁體提供特定形狀，以使永磁場具有特定預期磁場分布。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種磁性傳感器裝置，包括：多個電線；磁體，所述磁體包括聚合物和磁性粒子的材料組合物，所述材料組合物附著于至少一個電線；以及與所述磁體相鄰的磁性傳感器芯片。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種磁性傳感器裝置，包括：磁性傳感器芯片；多個電線；以及永磁體，被構造成用于產(chǎn)生偏置磁場，所述永磁體被設置為使得所述多個電線中的至少一個電線延伸通過所述永磁體。

根據(jù)本發(fā)明的再一個方面，提供了一種磁性傳感器裝置，包括：引線框架，包括引線腳；磁性傳感器芯片，附著于至少一個引線腳；以及磁體，包括聚合物和磁性粒子的材料組合物，所述材料組合物附著于至少一個引線腳。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于制造磁性傳感器裝置的方法，所述方法包括：提供多個電線；提供磁性傳感器芯片；將磁體附著于至少一個電線，所述磁體包括聚合物和磁性粒子的材料組合物。

根據(jù)本發(fā)明的又一個方面，提供了一種用于制造磁性傳感器裝置的方法，所述方法包括：提供包括多個引線腳的引線框架；提供磁性傳感器芯片；以及將聚合物和磁性或可磁化粒子的材料組合物模制于至少一個引線腳上或周圍。

附圖說明

附圖被包含進來是為了用于進一步理解實施例，所述附圖并入該說明書且構成該說明書的一部分。附圖示出了實施例，并與描述一起用于對實施例的原理進行解釋。參考以下詳細說明，其他實施例和實施例的多個預期優(yōu)點可更好理解。附圖中的元件不一定相對于彼此是按比例的。相似參考數(shù)字表示相應的相似部分。

圖1示出了根據(jù)一個實施例的磁性傳感器裝置的示意截面?zhèn)纫晥D；

圖2示出了根據(jù)一個實施例的磁性傳感器裝置的示意截面?zhèn)纫晥D；

圖3A-3C示出了根據(jù)實施例的磁性傳感器裝置的示意截面?zhèn)纫晥D；

圖4A-4C示出了根據(jù)實施例的磁性傳感器裝置的示意截面?zhèn)纫晥D；

圖5A-5C示出了根據(jù)實施例的磁性傳感器裝置的示意截面?zhèn)纫晥D；

圖6示出了根據(jù)一個實施例的磁性傳感器裝置的示意性立體圖；

圖7示出了用于制造根據(jù)一個實施例的磁性傳感器裝置的方法的流程圖；

圖8示出了用于制造根據(jù)一個實施例的磁性傳感器裝置的方法的流程圖；

圖9A-9D示出了用于制造根據(jù)一個實施例的磁性傳感器裝置的方法的示意頂視圖和側(cè)視圖；以及

圖10A-10C示出了用于獲得根據(jù)一個實施例的圖10C所示的中間產(chǎn)品的方法步驟的示意截面?zhèn)纫晥D。

具體實施方式

現(xiàn)在將參考附圖對上述方面和實施例進行說明，其中，附圖中相似參考數(shù)字一般用于指代相似元件。在以下說明中，為了便于解釋，陳述了多個具體細節(jié)，以提供對實施例的一個或多個方面的徹底理解。但是，本領域的技術人員應理解的是，實施例的一個或多個方面可用較低程度的具體細節(jié)實施。在其他情況下，已知結構和元件以示意性形式顯示，以便于對實施例的一個或多個方面進行說明。應理解的是，只要不脫離本發(fā)明的范圍，可使用其他實施例，或可對結構或邏輯進行改變。應進一步注意的是，附圖并不是按比例的，或不一定是按比例的。