[發(fā)明專利]藥劑混合器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210434002.2
• 申請日: 2012-11-03
• 公開（公告）號: CN102921324A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金海濤;鄔治國;沈健
• 申請（專利權(quán)）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: B01F5/00
• 分類號: B01F5/00;B01F3/08
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掩模領(lǐng)域，特別是指一種用于清洗掩模的藥劑混合器。

背景技術(shù)

掩模在清洗的過程中需要兩種或兩種以上的不同藥劑進(jìn)行混合。在現(xiàn)有的混合技術(shù)中，會存在混合不均的問題，導(dǎo)致混合藥劑的一些參數(shù)不穩(wěn)定（比如混合藥劑的溫度，電導(dǎo)率等）。混合藥劑參數(shù)的不穩(wěn)定會直接導(dǎo)致清洗效果的好壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提出一種藥劑混合器，解決了現(xiàn)有技術(shù)中混合藥劑參數(shù)的不穩(wěn)定會直接導(dǎo)致清洗效果的好壞的問題。

本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：一種藥劑混合器，包括本體和溫度探測儀，所述的本體內(nèi)設(shè)置有液路、混合槽和混合液路，所述的混合槽包括兩個不同直徑的圓柱體腔，所述的較大圓柱體腔與混合液路連通，所述的較小的圓柱體腔與液路連通；所述的液路的個數(shù)至少是二，所述的液路與混合槽之間設(shè)置有單向閥，所述的單向閥包括四氟彈簧和球體塞，所述的球體塞設(shè)置在四氟彈簧上；所述的溫度探測儀設(shè)置在混合液路的出口處。

進(jìn)一步包括，所述的液路的個數(shù)是二，包括第一液路和第二液路，第一液路和第二液路上分別設(shè)置有藥劑進(jìn)口。

進(jìn)一步包括，所述的球體塞設(shè)置在液路口上，所述的球體塞的直徑大于液路直徑。

進(jìn)一步包括，所述的較大圓柱體腔與較小的圓柱體腔相互連通。

有益效果：本發(fā)明解決了背景技術(shù)中存在的缺陷，混合槽的設(shè)計，對藥劑能進(jìn)行充分的混合。各液路均設(shè)有單向閥結(jié)構(gòu)，防止各路的藥劑回流導(dǎo)致藥劑的污染。在混和腔的出口處設(shè)有溫度傳感器能實時監(jiān)測混合液的溫度。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1，本體；2，溫度探測儀；3，液路；4，混合液路；5，混合槽；6，四氟彈簧；7，球體塞；8，較小的圓柱體腔；9，較大圓柱體腔；10，藥劑進(jìn)口；11，出口。

具體實施方式

如圖1所示，一種藥劑混合器，包括本體1和溫度探測儀2，所述的本體1內(nèi)設(shè)置有液路3、混合液路4和混合槽5，所述的混合槽5包括兩個不同直徑的圓柱體腔，所述的較大圓柱體腔9與混合液路4連通，所述的較小的圓柱體腔8與液路3連通；所述的液路3的個數(shù)至少是二，本發(fā)明的實施例優(yōu)選為兩種藥劑混合，所以液路3的個數(shù)是二，包括第一液路和第二液路，第一液路和第二液路上分別設(shè)置有藥劑進(jìn)口10；所述的液路3與混合槽5之間設(shè)置有單向閥，所述的單向閥包括四氟彈簧6和球體塞7，所述的球體塞7設(shè)置在四氟彈簧6上；所述的溫度探測儀2設(shè)置在混合液路4的出口11處。

工作過程：藥劑A和B通過液路3進(jìn)入混合槽5，在藥劑壓力的作用下單向閥打開（在沒有藥劑混合的時候，球體塞7在四氟彈簧6的作用下，塞住液路3口防止混合槽5內(nèi)的藥劑倒流回液路3），進(jìn)入混合槽5內(nèi)進(jìn)行混合。混合槽5的設(shè)計使用不同直徑的圓柱體腔組成，藥劑在不同的圓柱體腔流過時增加了藥劑的混合時間，達(dá)到更加充分的混合效果。溫度探測儀2設(shè)置在混合液路4的出口處，實時測量混合藥劑的溫度。藥劑A和B停止使用后，在四氟彈簧6的作用下，球體塞7關(guān)閉液路3，防止混合槽5內(nèi)的混合藥劑倒流造成藥劑的污染。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。