[發明專利]對準標記及其制備方法

有效

• 申請號: 201210433331.5
• 申請日: 2012-11-02
• 公開（公告）號: CN103176373A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 江宸谷;吳元薰
• 申請（專利權）人: 南亞科技股份有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;呂俊清

1.一種對準標記，包含多個標記單元，各標記單元包含一第一元件和多個第二元件，各第二元件包含相對的第一端部和第二端部，其中所述多個第二元件沿一方向排列，而該第一元件靠近所述多個第二元件的第一端部并平行所述多個第二元件所排列的該方向延伸。

2.根據權利要求1所述的對準標記，其中在各標記單元中，所述多個第二元件被形成為多對的第二元件，其中各對的第二元件的第一端部是連接。

3.根據權利要求1所述的對準標記，其中各標記單元形成一光柵。

4.根據權利要求1所述的對準標記，其中在各標記單元中，所述多個第二元件間隔一距離。

5.根據權利要求1所述的對準標記，其中各第二元件包含一條形，各第二元件垂直所述多個第二元件所排列的該方向延伸。

6.根據權利要求1所述的對準標記，其中各標記單元還包含兩第三元件，所述兩第三元件設置于該標記單元的相對兩側。

7.一種對準標記，包含多個標記單元，各標記單元包含：

兩第一元件，相互平行且沿一方向延伸；以及

兩組的第二元件，每組具有多個第二元件，各第二元件包含相對兩端部，其中所述兩第一元件位于所述兩組的第二元件之間，各組的第二元件的排列方向平行于所述兩第一元件所延伸的該方向，且各組的第二元件的兩端部的其中一端部鄰近兩第一元件中相應的一第一元件。

8.根據權利要求7所述的對準標記，其中各標記單元包含一矩形框體，該矩形框體包含所述多個第一元件。

9.一種對準標記的制備方法，包含下列步驟：

于一基板上形成一圖案，其中該圖案包含一連接構件和多個線條，其中所述多個線條從該連接構件的一側邊延伸出；

在該圖案的側壁上形成間隔層；

移除該圖案；以及

利用該間隔層蝕刻該基板，以形成對準標記的標記單元。

10.根據權利要求9所述的制備方法，其中在該圖案的側壁上形成間隔層的步驟包含利用原子層沉積工藝在該圖案上沉積間隔層材料。