[發明專利]磁性傳感器裝置

有效

• 申請號: 201210432410.4
• 申請日: 2012-11-02
• 公開（公告）號: CN103090890A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: K.埃利安
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12;G01R33/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;李浩

技術領域

本發明涉及一種磁性傳感器裝置和一種用于制造磁性傳感器裝置的方法。

背景技術

磁性傳感器裝置能夠例如被配置為測量磁性齒輪的速度。這種磁性速度傳感器通常包括帶有多個磁性傳感器元件諸如霍爾傳感器元件或者磁阻（XMR）元件如例如巨磁阻（GMR）傳感器元件或者各向異性磁阻（AMR）傳感器元件的集成電路。永久磁體向傳感器元件提供偏置磁場。在輪子旋轉時，輪子的齒在傳感器前面經過并且產生小的場變化，這由傳感器檢測并且由集成電路處理。檢測到的場包含有關輪子的角位置和旋轉速度的信息。關于這種磁性傳感器裝置的制造，存在對于減少或者簡化制造步驟，特別地減少取放步驟或者模制步驟的穩定需求。另一個穩定需求涉及磁性傳感器裝置封裝的尺寸并且涉及永久磁體的形狀的可變性，因為提供具有具體形狀的永久磁體從而提供帶有特定所期望場分布的永久磁場能夠是理想的。

附圖說明

附圖被包括用于提供對實施例的進一步的理解并且結合在本說明書中并且構成它的一個部分。附圖示意實施例并且與說明書一起用于解釋實施例的原理。將易于理解其它實施例和實施例的預期優點中的很多優點，因為通過參考以下詳細說明，它們變得更好理解。附圖的元件并不是必要地相對于彼此成比例。類似的附圖標記標注相應的類似的部分。

圖1示出根據一個實施例的磁性傳感器裝置的概略截面側視圖表示；

圖2示出根據一個實施例的磁性傳感器裝置的概略截面側視圖表示；

圖3A-3C示出根據實施例的磁性傳感器裝置的概略截面側視圖表示；

圖4A-4C示出根據實施例的磁性傳感器裝置的概略截面側視圖表示；

圖5A-5C示出根據實施例的磁性傳感器裝置的概略截面側視圖表示；

圖6示出根據一個實施例的磁性傳感器裝置的概略透視表示；

圖7示出用于示意根據一個實施例的、用于制造磁性傳感器裝置的方法的流程圖；

圖8示出用于示意根據一個實施例的、用于制造磁性傳感器裝置的方法的流程圖；

圖9A-9G示出用于示意根據一個實施例的、用于制造磁性傳感器裝置的方法的概略頂視圖和側視圖表示；并且

圖10A-10E示出根據一個實施例的、用于獲得如在圖9C中所示的中間產品的方法步驟的概略截面側視圖表示。

具體實施方式

現在參考附圖描述方面和實施例，其中貫穿始終一般利用類似的附圖標記來引用類似的元件。在以下說明中，為了解釋的意圖，闡述了多個具體細節從而提供對實施例的一個或者多個方面的徹底理解。然而，本領域技術人員可以清楚，可以用較低程度的具體細節實踐實施例的一個或者多個方面。在其它情形中，已知的結構和元件被以概略的形式示出從而便于描述實施例的一個或者多個方面。要理解，在不偏離本發明的范圍的情況下可以利用其它實施例并且可以作出結構或者邏輯變化。應該進一步指出，附圖未成比例或者并不是必要地成比例。

另外，雖然可能關于幾種實現中的僅僅一種實現公開了實施例的特定特征或者方面，但是這種特征或者方面可以如可能對于任何給定的或者特定的應用所期望地并且有利地被與其它實現的一個或者多個其它特征或者方面組合。進而，就在或者詳細說明或者權利要求中使用術語“包括”、“具有”、“帶有”或者其其它變型而言，這種術語旨在以類似于術語“包含”的方式是包括性的。可以使用術語“耦接”和“連接”連同派生詞。應該理解這些術語可以被用于指示兩個元件彼此配合或者相互作用，而與它們是處于直接物理接觸或者電接觸還是它們并非處于直接相互接觸無關。而且，術語“示例性”僅僅意味著作為一個實例而非最好或者最佳。因此，不要在限制性的意義上考慮以下詳細說明，并且本發明的范圍由所附權利要求限定。

在幾個實施例中，層或者疊層被施加到彼此或者材料被施加或者沉積到層或者其它基板上。應該理解，任何這樣的術語如“施加”或者“沉積”均意在照字面地覆蓋將層或者材料施加到基板上的所有種類和技術。特別地，它們意在覆蓋其中層或者材料整體上被同時施加的技術比如例如層疊技術以及其中層或者材料被以順序方式沉積的技術比如例如濺射、電鍍、模制、CVD等。