[發明專利]一種高壓集成電路的互連結構無效
| 申請號： | 201210432010.3 | 申請日： | 2012-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN103022004A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 喬明;張昕;許琬;李燕妃;周鋅;吳文杰;張波 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L23/528 | 分類號： | H01L23/528 |
| 代理公司： | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李順德;王睿 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高壓 集成電路 互連 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種高壓集成電路的互連結構，用于具有橫向高壓功率器件的高壓集成電路中，包括多條窄線寬的金屬連線；所述多條窄線寬的金屬連線一端與橫向高壓功率器件的漏極或陽極相連，另一端與高壓集成電路的高壓電路相連；多條窄線寬的金屬連線共同分擔橫向高壓功率器件所承載的電流大小，各條窄線寬的金屬連線之間具有相應的間距。
2.根據權利要求1所述的高壓集成電路的互連結構，其特征在于，所述橫向高壓功率器件是圓形橫向高壓功率器件或橢圓跑道型橫向高壓功率器件。
3.根據權利要求1所述的高壓集成電路的互連結構，其特征在于，所述橫向高壓功率器件是N溝道或P溝道的單RESURF?LDMOS、雙RESURF?LDMOS、LIGBT或3D?RESURFLDMOS。
4.根據權利要求1所述的高壓集成電路的互連結構，其特征在于，所述窄線寬的金屬連線的數量、線寬和間距，可相同或不相同。
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