[發明專利]正型感光性樹脂組成物、硬化膜及其形成方法、液晶顯示裝置及有機電致發光顯示裝置

有效

• 申請號: 201210431750.5
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103091986B
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 米澤裕之;川島敬史;山﨑健太;疋田政憲
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1333;H01L27/32;H01L51/54
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種正型感光性樹脂組成物，其特征在于包括：

成分A：含有滿足下述(1)及下述(2)的至少一個的聚合物的聚合物成分，

(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護的基的構成單元、及(a2)含有交聯性基的構成單元的聚合物，

(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護的基的構成單元的聚合物、及具有(a2)含有交聯性基的構成單元的聚合物；

成分C：光酸產生劑；以及

成分D：溶劑；進而包括

成分X：由下述式(X3)所表示的化合物；

Roo-[(CH2)n-(X)]a

(X3)

式中，X表示下述式(X1)，a表示2～3的整數，n表示1～5的整數，Roo表示單鍵、-CR2-、-S-、-CO-、-O-、亞苯基、

或包含這些基的2個以上的組合的基，其中R為氫原子或碳數為1～3的烷基，

式中，RX1～RX3的至少1個表示選自由烷氧基、巰基、鹵素原子、酰胺基、乙酰氧基、氨基、烯丙氧基、及異丙烯氧基所組成的組群中的水解性基，或羥基；剩余的RX1～RX3分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、或一價的有機取代基。

2.根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于：所述構成單元(X1)之中，RX1～RX3中的至少2個為烷氧基。

3.根據權利要求1或2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于：相對于樹脂組成物的除溶劑以外的成分的合計，所述成分X的含量為0.1wt％以上。

4.根據權利要求1或2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于：所述構成單元(a1)為具有羧基由縮醛或縮酮保護的殘基的構成單元。

5.根據權利要求1或2所述的正型感光性樹脂組成物，其特征在于：所述構成單元(a1)為由式(a1-1)所表示的構成單元，

式中，R1及R2分別表示氫原子、烷基或芳基，至少R1及R2的任一個為烷基或芳基，R3表示烷基或芳基，R1或R2與R3可連結而形成環狀醚，R4表示氫原子或甲基，X表示單鍵或亞芳基。