[發明專利]集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構

在審

• 申請號: 201210431404.7
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103792791A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 魏猛
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/26;H01L21/67
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：包括多個垂直疊加設置的工藝單元(8)，各工藝單元(8)均采用盤體框架(6)，各盤體框架(6)的前端為弧形前端(1)、后部為方形、內部為腔室，在弧形前端(1)上沿徑向開設有窗口(3)，后部的兩側端部沿垂直于窗口方向設有排風通道(2)，所述兩側排風通道(2)的內側均設有與腔室連通的排氣口(4)。

2.按權利要求1所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述窗口(3)的前端為半圓形，后部為方形。

3.按權利要求2所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述窗口(3)的后部兩端與前部圓心的連線夾角大于180度，窗口(3)的高為30mm。

4.按權利要求1所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述排風口(4)上設有風門。

5.按權利要求4所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述風門處設有測量熱量和化學品濃度的傳感器。

6.按權利要求4或5所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述風門由氣缸或電機控制。

7.按權利要求1所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述各工藝單元(8)上下疊加，各盤體框架(6)兩側的排風通道(2)相互連通，形成一個共用的通風管道。

8.按權利要求1所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述各工藝單元(8)均以盤體框架(6)為外框架安裝在工藝墻上。

9.按權利要求1、7或8任一項權利要求所述的集裝式弧型熱酸分排盤體框架結構，其特征在于：所述工藝單元(8)為增粘單元、熱盤單元、高溫熱盤單元、冷盤單元、復合盤單元或對中單元。