[發明專利]一種基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法

有效

• 申請號: 201210431373.5
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN102950036A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 秦建華;孟昭旭;徐濤;張旭
• 申請（專利權）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 張晨

1.一種基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：將紡絲材料配制成一定濃度的紡絲溶液，通過靜電紡絲法在電紡絲模板基片表面沉積具有特定厚度的紡絲層，通過光刻步驟形成電紡絲模板，電紡絲模板浸涂一層脫模劑并干燥，澆注PDMS，固化后洗滌、干燥，制備出具有納米結構通道表面的微流控芯片。

2.根據權利要求1所述基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：所述紡絲材料為SU-8系列光刻膠，溶劑為環戊酮，紡絲溶液濃度范圍為60%~95%（v/v）。

3.根據權利要求1所述基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：所述靜電紡絲法的條件為：紡絲電壓范圍7kV~10kV，流速范圍0.1ml/h～0.5ml/h，紡絲時間1~2h。

4.根據權利要求1所述基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：所述電紡絲模板的基片為玻璃片或硅片。

5.根據權利要求1所述基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：所述光刻步驟為：不經過前烘，曝光時間10~30s；后烘時間3~5min，溫度95℃；顯影時間3~5min；堅膜時間1h，溫度180℃。

6.根據權利要求1所述基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：所述脫模劑為聚乙烯吡咯烷酮，溶解脫模劑的溶劑為乙醇，脫模劑溶液的濃度為0.04mg/ml。

7.根據權利要求1所述基于電紡絲模板制備微流控芯片的方法，其特征在于：所述PDMS固化后用純凈水超聲洗滌，去除黏附的聚乙烯吡咯烷酮。