[發(fā)明專利]軸錐鏡面形的測量裝置和測量方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210431104.9 | 申請日： | 2012-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN102901463A | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 袁喬;曾愛軍;張善華;黃惠杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 軸錐鏡面形 測量 裝置 測量方法 | ||
1.一種軸錐鏡面形的測量裝置，其特征在于該裝置由移相干涉儀、平面標準鏡、聚焦透鏡和平面反射鏡組成，其位置關(guān)系是：沿所述的移相干涉儀出射光束前進方向依次是所述的平面標準鏡、聚焦透鏡和平面反射鏡，在所述的平面標準鏡和聚焦透鏡之間設(shè)置待測軸錐鏡的插口。
2.利用權(quán)利要求1所述的軸錐鏡面形的測量裝置進行軸錐鏡面形的測量方法，其特征在于該方法包括如下步驟：
①在移相干涉儀輸出的平行光束方向的平面標準鏡和聚焦透鏡之間的待測軸錐鏡的插口置入待測軸錐鏡，所述的待測軸錐鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向；
②調(diào)整光路：所述的移相干涉儀出射的平行光束經(jīng)所述的平面標準鏡形成平行的測量光束，經(jīng)所述的平面標準鏡返回的光束形成參考光束；調(diào)整所述的平面標準鏡的平行平面與所述的平行光束垂直；調(diào)整所述的待測軸錐鏡的平面與測量光束垂直，同時保證所述的軸錐鏡的中軸與移相干涉儀出射光束的中軸重合；調(diào)整所述的聚焦透鏡與測量光束垂直，同時保證所述的聚焦透鏡的光軸與移相干涉儀出射光束的中軸重合；調(diào)整所述的平面反射鏡的平面與光軸垂直；
③所述的測量光束透過所述的軸錐鏡入射到所述的聚焦透鏡，經(jīng)所述的聚焦透鏡使光束會聚到所述的平面反射鏡上，然后經(jīng)所述的平面反射鏡反射返回，該返回的測量光束與平面標準鏡返回的參考光束產(chǎn)生干涉；
④調(diào)整所述的聚焦透鏡與待測軸錐鏡之間的距離獲得完整清晰的干涉條紋，利用所述的移相干涉儀檢測干涉條紋，即得到所述的軸錐鏡的面形信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的軸錐鏡面形的測量方法，其特征在于，所述的待測軸錐鏡為凸面軸錐鏡或凹面軸錐鏡。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所，未經(jīng)中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210431104.9/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
