[發明專利]拋光平臺無效
| 申請號: | 201210430731.0 | 申請日: | 2012-11-01 |
| 公開(公告)號: | CN102873626A | 公開(公告)日: | 2013-01-16 |
| 發明(設計)人: | 李金昌 | 申請(專利權)人: | 昆山市大金機械設備廠 |
| 主分類號: | B24B29/00 | 分類號: | B24B29/00;B24B55/06 |
| 代理公司: | 上海集信知識產權代理有限公司 31254 | 代理人: | 張坤明 |
| 地址: | 215335 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 拋光 平臺 | ||
1.一種拋光平臺,包括:
平臺基座;
第一凹槽,沿第一方向設置于所述平臺基座的上表面上;
多個第二凹槽,沿與所述第一方向垂直的第二方向設置于所述平臺基座的上表面上;以及
側邊凸臺,設置于所述第一凹槽一側,其中所述側邊凸臺沿所述第二方向從所述平臺基座的側壁突出。
2.如權利要求1所述的拋光平臺,其特征在于,所述平臺基座的相對于所述第一凹槽和第二凹槽抬起的表面為承載表面,所述承載表面由具有彈性的聚合物制成。
3.如權利要求1所述的拋光平臺,其特征在于,所述從所述平臺基座的側壁突出的側邊凸臺覆蓋所述第一凹槽的上方。
4.如權利要求1所述的拋光平臺,其特征在于,所述側邊凸臺的上表面的靠近所述側壁的一側具有沿所述第二方向布置的第三凹槽。
5.如權利要求1所述的拋光平臺,其特征在于,在將被拋光物件置于所述承載表面上進行拋光作業時,從所述拋光平臺的與所述側壁相對的一側向所述側壁方向吹氣。
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