[發明專利]鉻靶材的制作方法

有效

• 申請號: 201210429639.2
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103785838A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;宋佳
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B22F3/16
• 分類號: B22F3/16;C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鉻靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供鉻粉末；

將鉻粉末放置入真空包套并抽真空；

采用熱等靜壓工藝對真空包套內的鉻粉末進行燒結成型，形成鉻靶材；

完成燒結成型后，進行冷卻并拆除真空包套取出鉻靶材。

2.根據權利要求1所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，將鉻粉末放置入真空包套后，進行熱等靜壓工藝之前，還進行封死所述真空包套并從所述真空包套上引出脫氣管的步驟，所述抽真空步驟是通過所述脫氣管完成的。

3.根據權利要求1所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，抽真空后，所述真空包套內的真空度小于等于2×10^-3Pa。

4.根據權利要求3所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述真空包套內的真空度小于等于2×10^-3Pa后，還對所述真空包套進行邊加熱邊抽真空的步驟。

5.根據權利要求4所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述邊加熱邊抽真空的步驟包括：加熱所述真空包套至溫度大于等于250℃小于且等于500℃后，進行保溫，所述加熱及保溫過程中，持續抽真空使真空包套內的真空度小于等于2×10^-3Pa，之后進行所述燒結成型步驟。

6.根據權利要求5所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述保溫的時間為3小時～4小時。

7.根據權利要求1所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述熱等靜壓工藝具體參數為：設置熱等靜壓爐的熱等靜壓溫度為大于等于1200℃且小于等于1300℃，設置熱等靜壓爐的熱等靜壓壓力為大于等于130MPa且小于等于150MPa，并在此壓力下保壓4小時～6小時。

8.根據權利要求1所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述真空包套采用厚度為1.0mm～2.0mm的不銹鋼焊接成型。

9.根據權利要求8所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述不銹鋼為低碳鋼、304不銹鋼材或316L不銹鋼材。

10.根據權利要求1所述的鉻靶材的制作方法，其特征在于，所述鉻粉末的純度為大于等于99.5％且小于等于99.99％。